Ταξινόμηση της επεξεργασίας δέσμης ιόντων

Ταξινόμηση της επεξεργασίας δέσμης ιόντων

Η φυσική βάση της επεξεργασίας δέσμης ιόντων είναι η επίδραση κρούσης, η επίδραση της ψεκασμού και η επίδραση της έγχυσης όταν η δέσμη ιόντων χτυπά στην επιφάνεια του υλικού. Υπάρχουν συνήθως τέσσερις κατηγορίες:

Εγώ στη χάραξη

Όταν χρησιμοποιούνται ιόντα αργού με ενέργεια 0,1 ~ 5 kV και διάμετρο μερικών δεκάτων ενός νανομέτρου για να διογκωθεί η επιφάνεια του κατεργαζόμενου τεμαχίου, η ενέργεια που μεταφέρεται από αυτό το ιόν υψηλής ενέργειας υπερβαίνει τη δύναμη σύνδεσης ατόμων (ή μορίων) στο τεμάχιο εργασίας επιφάνεια, τα άτομα (ή τα μόρια) στην επιφάνεια του υλικού διαχέονται ένα προς ένα για να επιτευχθεί ο σκοπός της επεξεργασίας. Αυτή η κατεργασία είναι ουσιαστικά διαδικασία κοπής ατομικής κλίμακας, που συχνά αναφέρεται ως άλεση ιόντων.

Η χάραξη ιόντων μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την επεξεργασία των αυλακώσεων των ρουλεμάν αέρα, των οπών διάτρησης, της επεξεργασίας εξαιρετικά λεπτών υλικών και των ασφαιρικών φακών εξαιρετικής ακρίβειας και μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για τη χάραξη γραφικών υψηλής ακρίβειας ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.

IKS PVD μηχανή οπτικής επίστρωσης δέσμης ηλεκτρονίων, IKS-OPT2700, Περισσότερες λεπτομέρειες, ευπρόσδεκτη επικοινωνία iks.pvd@foxmail.com