Συνδυασμένο εξαιρετικά υψηλό σύστημα κενού

Συνδυασμένο εξαιρετικά υψηλό σύστημα κενού

Για ορισμένα συστήματα κενού με ειδικές απαιτήσεις, όπως εκείνα που απαιτούν εξαιρετικά υψηλό κενό ή πολύ υψηλό κενό χωρίς λάδι, και ταυτόχρονα καλύπτουν τις ανάγκες ακατέργαστης άντλησης και μπορούν να αντιμετωπίσουν μεγάλη ποσότητα αερίου που απελευθερώνεται κατά τη διαδικασία, το συνδυασμένο σύστημα μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την κάλυψη των απαιτήσεων. ΣΥΚΟ. 1 δείχνει το σχηματικό διάγραμμα του συστήματος κενού της μηχανής επίστρωσης κενού χωρίς υψηλή περιεκτικότητα σε λάδι. Η κύρια αντλία είναι η αντλία ιόντων ψεκασμού, η οποία είναι εξοπλισμένη με αντλία εξάχνωσης τιτανίου προκειμένου να βελτιωθεί ο βαθμός κενού και να εκφορτιστεί η μεγάλη ποσότητα αερίου που παράγεται από τα υγρά εξάτμισης. Το απόλυτο κενό μπορεί να φτάσει τα 6,67 × 10-7Pa. Αντλία προαντλίας με κύρια αντλία μοριακού κόσκινου. Επιπλέον, το σύστημα είναι επίσης εξοπλισμένο με παγίδα προσρόφησης - μηχανικό σύστημα αντλίας ακατέργαστης αντλίας, όταν η πίεση είναι μεγαλύτερη από 1333Pa, η μηχανική αντλία δεν είναι εύκολο να επιστρέψει λάδι, η μηχανική αντλία σκουπίζει απευθείας τον θάλαμο κενού, όταν η πίεση ο θάλαμος κενού είναι χαμηλότερος από 1333Pa, η μηχανική αντλία μέσω της παγίδας προσρόφησης 9 από τον θάλαμο κενού παράκαμψης.

1. Θάλαμος κενού 2. Βαλβίδα πύλης κενού εξαιρετικά υψηλή 3. Αντλία ιόντων ψεκασμού 4. Αντλία εξάχνωσης τιτανίου 5. Βαλβίδα κενού εξαιρετικά υψηλή6. Βαλβίδα απελευθέρωσης 7. Υψηλή βαλβίδα κενού 8. Μοριακή αντλία κόσκινου 9. Παγίδα απορρόφησης 10. Μηχανική αντλία
ΣΥΚΟ. 1 Σχηματικό διάγραμμα του συστήματος κενού της μη υψηλής μηχανής επίστρωσης κενού χωρίς λάδι

Εταιρεία IKS PVD, διακοσμητική μηχανή επίστρωσης, μηχανή επίστρωσης εργαλείων, μηχανή οπτικής επίστρωσης, γραμμή επικάλυψης κενού PVD, το έργο με το κλειδί είναι διαθέσιμο.Επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, E-mail:iks.pvd@foxmail.com