Συνδυασμένο σύστημα υπερ-υψηλού κενού

Συνδυασμένο σύστημα υπερ-υψηλού κενού
Για ορισμένα συστήματα κενού με ειδικές απαιτήσεις, όπως αυτά που απαιτούν τόσο υπερυψηλό κενό όσο και εξαιρετικά υψηλό κενό χωρίς λάδι και ταυτόχρονα καλύπτουν τις ανάγκες ακατέργαστης άντλησης και αντιμετωπίζουν μεγάλη ποσότητα αερίου που απελευθερώνεται κατά τη διαδικασία, το συνδυασμένο σύστημα μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να καλύψει τις απαιτήσεις. Το Σχήμα 5-16 δείχνει το σχηματικό διάγραμμα του συστήματος κενού του επιχρίσματος υπερυψηλού κενού χωρίς λάδια. Η κύρια αντλία είναι η αντλία ιόντων διασκορπισμού, η οποία είναι εξοπλισμένη με αντλία εξάχνωσης τιτανίου για τη βελτίωση του βαθμού κενού και την αφαίρεση μεγάλης ποσότητας αερίου που παράγεται κατά την εξάτμιση υλικών. Ο απόλυτος βαθμός κενού μπορεί να φτάσει τα 6,67×10-7Pa. Η αντλία μοριακού κόσκινου χρησιμοποιείται ως αντλία προ-άντλησης της κύριας αντλίας. Επιπλέον, το σύστημα είναι επίσης εξοπλισμένο με παγίδα προσρόφησης - σύστημα μηχανικής αντλίας τραχιάς άντλησης, όταν η πίεση είναι μεγαλύτερη από 1333Pa, η μηχανική αντλία δεν είναι εύκολο να επιστρέψει λάδι, κενό απευθείας στον θάλαμο κενού με τη μηχανική αντλία, όταν η Η πίεση του θαλάμου κενού είναι χαμηλότερη από 1333Pa, η μηχανική αντλία μέσω της παγίδας προσρόφησης 9 από τον θάλαμο κενού παράκαμψης.

▲ Σχήμα 5-16 Σχηματικό διάγραμμα συστήματος κενού επίστρωσης χωρίς λάδια υπερυψηλής αέρος: 1- θάλαμος κενού 2- βαλβίδα πύλης κενού εξαιρετικά υψηλής πίεσης 3- Αντλία ιόντων διασκορπισμού {{7} } αντλία εξάχνωσης τιτανίου 5- βαλβίδα υπερυψηλού κενού 6- βαλβίδα εξαέρωσης 7- βαλβίδα υψηλού κενού 8- αντλία μοριακού κόσκινου 9- παγίδα προσρόφησης 10- μηχανική αντλία

Εταιρεία IKS PVD, μηχανή διακοσμητικής επίστρωσης, μηχανή επίστρωσης εργαλείων, μηχανή επίστρωσης DLC, μηχανή οπτικής επίστρωσης, γραμμή επίστρωσης κενού PVD, το έργο με το κλειδί στο χέρι είναι διαθέσιμο. Επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, E-mail: iks.pvd@foxmail.com