Επίστρωση εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων
Apr 25, 2020| Επίστρωση εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων
Υπό υψηλό κενό, το νήμα του πιστολιού ηλεκτρονίου θερμαίνεται για να εκπέμπει θερμά ηλεκτρόνια, τα οποία επιταχύνονται από την επιταχυνόμενη άνοδο για να ληφθεί μια μεγάλη ποσότητα κινητικής ενέργειας και βομβαρδίζεται το εξατμιστικό υλικό. Η κινητική ενέργεια μετατρέπεται σε θερμότητα για να κάνει το εξατμιστικό υλικό να θερμαίνεται και να αεριοποιείται και πραγματοποιείται η επικάλυψη εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων. Η πηγή εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων αποτελείται από μια καυτή κάθοδο που εκπέμπει ηλεκτρόνια, ένα ηλεκτρόδιο επιτάχυνσης ηλεκτρονίων και ένα υλικό επικάλυψης που ενεργεί ως άνοδος. Η ενέργεια της πηγής εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων μπορεί να είναι πολύ συγκεντρωμένη, κάνοντας το υλικό επικάλυψης τοπικά να φτάσει σε υψηλή θερμοκρασία και να εξατμιστεί. Ρυθμίζοντας την ισχύ της δέσμης ηλεκτρονίων, ο ρυθμός εξάτμισης του υλικού επικάλυψης μπορεί εύκολα να ελεγχθεί, ειδικά για υψηλό σημείο τήξης, μέταλλο υψηλής καθαρότητας και σύνθετα υλικά.
IKS-OPT2700 optical E-gun vacuum coating machine，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com
