Κυρίως συσκευή επεξεργασίας δέσμης ηλεκτρονίων

Κυρίως συσκευή επεξεργασίας δέσμης ηλεκτρονίων

Η συσκευή επεξεργασίας δέσμης ηλεκτρονίων αποτελείται κυρίως από τα ακόλουθα μέρη:

E πυροβόλο όπλο

1. Διάταξη για την απόκτηση δέσμης ηλεκτρονίων, η οποία περιλαμβάνει:
1. Κάθοδος εκπομπής ηλεκτρονίων - από βολφράμιο ή ταντάλιο και ηλεκτρόνια εκπομπής υπό συνθήκες θέρμανσης.
2, ελέγχει την πύλη - όχι μόνο ελέγχει την ισχύ της δέσμης ηλεκτρονίων, αλλά έχει επίσης ένα πρωτεύον αποτέλεσμα εστίασης.
3. Επιταχυνόμενη άνοδος - συνήθως γειωμένη, και επειδή η κάθοδος έχει υψηλή αρνητική πίεση, μπορεί να επιταχύνει τα ηλεκτρόνια.

Σύστημα κενού

Εξασφαλίστε το κενό που απαιτείται για την ηλεκτρονική επεξεργασία. Ο βαθμός κενού της επεξεργασίας γενικής δέσμης ηλεκτρονίων διατηρείται σε 1,33 χ 10-2 ~ 1,33 χ 10-4 Ρα.

Σύστημα ελέγχου και παροχή ρεύματος

Το σύστημα ελέγχου περιλαμβάνει έλεγχο εστίασης δέσμης, έλεγχο θέσης δοκού, έλεγχο ισχύος της δέσμης και έλεγχο μετατόπισης τραπεζιού.
Έλεγχος εστίασης δέσμης: αυξάνει την ενεργειακή πυκνότητα της δέσμης ηλεκτρονίων, η οποία καθορίζει το άνοιγμα ή το πλάτος της ραφής του σημείου επεξεργασίας.
Μέθοδος εστίασης: πρώτον, ηλεκτροστατικό πεδίο υψηλής τάσης χρησιμοποιείται για να εστιάσει τη ροή ηλεκτρονίων σε μια λεπτή δέσμη. Μια άλλη μέθοδος είναι να χρησιμοποιήσετε ένα "ηλεκτρομαγνητικό φακό" για να εστιάσετε σε ένα μαγνητικό πεδίο.

Έλεγχος θέσης δέσμης: αλλάζει την κατεύθυνση των ηλεκτρονίων.
Έλεγχος μετατόπισης πίνακα: ελέγχει τη θέση του πίνακα κατά τη διάρκεια της μηχανουργικής κατεργασίας.
Τροφοδοσία: απαιτήσεις ευστάθειας υψηλής τάσης, που χρησιμοποιούνται συνήθως για τη σταθεροποίηση της τροφοδοσίας.

IKS PVD μηχανή οπτικής επίστρωσης δέσμης ηλεκτρονίων, IKS-OPT2700, Περισσότερες λεπτομέρειες, ευπρόσδεκτη επικοινωνία iks.pvd@foxmail.com