Παράγοντες που προκαλούν άνιση Thin Film με Magnetron Sputtering επιστρώσεις κενού μηχάνημα

Οι παράγοντες του στρώματος άνιση ταινία προκαλούν απόmagnetron sputtering επιστρώσεις κενού μηχάνημαπεριλαμβάνει τρεις πτυχές: κενού κράτους, μαγνητικού πεδίου και αργόν.

Η αρχή λειτουργίας της ηmagnetron sputtering επιστρώσεις κενού μηχάνημαείναι ότι στο πλαίσιο του κενού κράτη μέλη, το ηλεκτρόνιο του ορθογώνια μαγνητικού πεδίου να βομβαρδίζουν το αργόν και να διαμορφώσει το ιόν αργόν, τότε βομβαρδισμό στο υλικό-στόχο, έτσι ώστε το ιόν του στόχου μπορεί να κατατεθεί στην επιφάνεια του κομματιού εργασίας σε μορφή λεπτής μεμβράνης.

Το κενό μέλος χρειάζεται το σύστημα άντλησης για τον έλεγχο και κάθε εξαερισμού πρέπει να είναι ταυτόχρονα ενεργοποιούμενων και συνεπής. Εάν η άντληση δεν είναι ομοιόμορφη, η πίεση μέσα στον θάλαμο κενού θα είναι άνιση. Η πίεση έχει μια ορισμένη επιρροή για τη διακίνηση των ιόντων. Επιπλέον, πρέπει να ελέγχεται το χρόνο άντλησης. Πολύ μικρή θα προκαλέσει ανεπαρκή κενό, αλλά είναι πάρα πολύ καιρό και η σπατάλη των πόρων.

Το μαγνητικό πεδίο λειτουργεί ορθογώνια, αλλά είναι αδύνατο να κάνουν την ένταση του μαγνητικού πεδίου 100% ομοιόμορφη. Όπου το γενικό μαγνητικό πεδίο είναι ισχυρή, το πάχος της ταινίας είναι μεγάλη, αλλά είναι μικρό το αντίθετο, οπότε θα προκαλέσει την ασυνέπεια της το πάχος της ταινίας. Ωστόσο, κατά τη διαδικασία παραγωγής, η ανισότητα των την ταινία λόγω της μη-ένστολος του μαγνητικού πεδίου δεν είναι κοινή.

Ομοιομορφία αέριο αργόν επηρεάζει επίσης την ομοιομορφία της ταινίας, και η αρχή είναι παρόμοιο με το κενό. Επειδή αργόν εισέρχεται στον θάλαμο κενού, η πίεση στο εσωτερικό του θαλάμου θα αλλάξει. Η ομοιόμορφη πίεση μπορεί να ελέγξει την ομοιομορφία του πάχους ταινιών magnetron sputtering επιστρώσεις κενού μηχάνημα.

Για περισσότερο από μια δεκαετία,IKSπου ειδικεύεται σε όλα τα είδη των επιστρώσεις κενού εξοπλισμός εφαρμογής κατασκευής, αφιερωμένο στην έρευνα και ανάπτυξη και την παραγωγή επιστρώσεις κενού μηχάνημα, με την τελευταία τεχνολογία συνεχώς παράγουν πληρούν τις ανάγκες της αγοράς του εξοπλισμού επιστρώσεις κενού , παρέχοντας στους πελάτες με προσαρμοσμένη τεχνολογία λύσεις και εξοπλισμό.