Οδηγίες για τη δέσμευση στόχου
Aug 29, 2022| Οδηγίες για τη δέσμευση στόχου
Μία από τις βασικές παραμέτρους που καθορίζουν την απόδοση του στόχου sputtering είναι η ακεραιότητα και ο ρυθμός δέσμευσης μεταξύ του στόχου sputtering και του backplane. Αυτό το δέσιμο είναι πολύ σημαντικό για την απόδοση και το κόστος του στόχου.
Δέσμευση στόχου υψηλής ποιότητας
Το δέσιμο στόχου υψηλής ποιότητας είναι πολύ απαιτητικό. Το δέσιμο πρέπει να είναι κατασκευασμένο από υλικό με χαμηλή θερμική αντίσταση, ώστε να μπορεί να εφαρμοστεί η υψηλότερη δυνατή ισχύς στον στόχο όταν χρησιμοποιείται, χωρίς υπερθέρμανση και ρωγμές του στόχου. Τα κενά μετά το δέσιμο πρέπει επίσης να ελαχιστοποιηθούν για να αποφευχθεί η πιθανότητα ρωγμών του στόχου και ανομοιόμορφης εναπόθεσης. Το δέσιμο πρέπει να είναι αρκετά ισχυρό ώστε να αποτρέπει την αποδέσμευση του στόχου κατά τη λειτουργία, αλλά αρκετά εύκαμπτο ώστε να ελαχιστοποιεί το σχηματισμό υπολειπόμενων τάσεων κατά τη σύνδεση. Το τελευταίο στρες μπορεί να προκαλέσει το ράγισμα του στόχου. Τέλος, το δέσιμο στόχου μπορεί εύκολα να διαχωρίσει τον στόχο και το backplane, έτσι ώστε το backplane να μπορεί να επαναχρησιμοποιηθεί.
Εταιρεία IKS PVD, μηχανή διακοσμητικής επίστρωσης, μηχανή επίστρωσης εργαλείων, μηχανή επίστρωσης DLC, μηχανή οπτικής επίστρωσης, γραμμή επίστρωσης κενού PVD, το έργο με το κλειδί στο χέρι είναι διαθέσιμο. Επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, E-mail:iks.pvd@foxmail.com