Εισαγωγή του ελεγκτή μαζικής ροής

Ο ελεγκτής ροής μάζας (MFC) χρησιμοποιείται για την ακριβή μέτρηση και τον έλεγχο της παροχής μάζας αερίου. Συνήθως αποτελείται από αισθητήρα ροής, βαλβίδα ελέγχου ροής, κύκλωμα ελέγχου ενίσχυσης και κανάλι ελέγχου διακλάδωσης. Η τροφοδοσία ρεύματος εργασίας και οι λειτουργίες ρύθμισης της ένδειξης ροής και ρύθμισης από την υποστηριζόμενη τροφοδοσία οθόνης ροής.

Χρήση και χαρακτηριστικά

Το MFC διαδραματίζει σημαντικό ρόλο στην επιστημονική έρευνα και την παραγωγή σε πολλούς τομείς, όπως η βιομηχανία μικροηλεκτρονικής ημιαγωγών, η ανάπτυξη ειδικών υλικών, η χημική βιομηχανία, η βιομηχανία πετρελαίου, η ιατρική, η προστασία του περιβάλλοντος και το κενό.

Οι τυπικές εφαρμογές περιλαμβάνουν: Ηλεκτρονικό εξοπλισμό επεξεργασίας όπως διάχυση, οξείδωση, επιταξία, CVD, χάραξη πλάσματος, επίδεσμος, εμφύτευση ιόντων, και εξοπλισμό επίστρωσης κενού, αέρια χρωματογράφοι και άλλα αναλυτικά όργανα.

Ο έλεγχος ροής μάζας και ο μετρητής ροής μάζας με μεγάλη ακρίβεια, καλή επαναληψιμότητα, γρήγορη ταχύτητα απόκρισης, μαλακή εκκίνηση, σταθερό και αξιόπιστο εύρος πίεσης εργασίας (που μπορεί να λειτουργήσει υπό συνθήκες υψηλής πίεσης ή κενού), η λειτουργία είναι εύκολη στη χρήση. Το MFC μπορεί να εγκατασταθεί σε οποιαδήποτε θέση και συνδέεται με τον υπολογιστή για να πραγματοποιήσει τον αυτόματο έλεγχο.

Ο μετρητής ροής χωρίζεται γενικά στους ακόλουθους τύπους:

1. Ογκομετρικό ροόμετρο

Χρησιμοποιεί το μηχανικό στοιχείο μέτρησης για να διαιρεί συνεχώς το υγρό σε ένα μόνο γνωστό τμήμα όγκου. Η ροή όγκου του υγρού μετράται σύμφωνα με τον αριθμό των χρόνων του όγκου του ρευστού γεμισμένου και εκκενωμένου το ένα μετά το άλλο διαδοχικά από τον θάλαμο μέτρησης.

2. Ροόμετρο ροής (ροόμετρο ροής)

Ο μετρητής ροής Float είναι ένα είδος μετρητή ροής μεταβλητής περιοχής, σε κάθετο κώνο από πάνω προς τα κάτω, η κυκλική διατομή της βαρύτητας του πλωτήρα στηρίζεται από την ισχύ του υγρού, έτσι ώστε ο πλωτήρας να μπορεί να είναι ελεύθερος στον κώνο Rise and fall.

3. Διαμετρητής ροής διαφορικής πίεσης

Βασίζεται στη διαφορική πίεση που παράγεται από τον ανιχνευτή ροής που είναι εγκατεστημένος στον σωλήνα, στην κατάσταση του γνωστού υγρού και στο μετρητή για τον υπολογισμό της ροής μεταξύ του σωλήνα και του σωλήνα.

4. Ροόμετρο οδού (VSF)

Η γεννήτρια στροβίλου μη-εξορθολογισμού τοποθετείται στο ρευστό και το ρευστό διαχωρίζεται εναλλάξ και στις δύο πλευρές του σώματος παραγωγής για την απελευθέρωση δύο σειρών εργαλείων στροβίλου τα οποία έχουν ταυτοχρόνως παρεμβληθεί.

5. Ροόμετρο στροβίλου

Είναι ο κύριος τύπος ροόμετρου ταχύτητας. Χρησιμοποιεί τον ρότορα πολλαπλών λεπίδων (στρόβιλο) για να αντιληφθεί τη μέση ταχύτητα ρευστού και αφαιρεί το όργανο του όγκου ροής ή της συνολικής ποσότητας.

6. Υπερήχων ροόμετρο

Είναι η μέτρηση της ροής μετρώντας την επίδραση της ροής του υγρού στη υπερηχητική δέσμη (ή υπερήχων παλμό).

7. Ηλεκτρομαγνητικό ροόμετρο

Ο ηλεκτρομαγνητικός μετρητής ροής είναι ένα είδος οργάνου μέτρησης της αγωγιμότητας του υγρού σύμφωνα με το νόμο της ηλεκτρομαγνητικής επαγωγής του Faraday.

8. Θερμικός μετρητής ροής μάζας

Ο αισθητήρας θερμικού μετρητή ροής περιέχει δύο αισθητήρια στοιχεία, έναν αισθητήρα ταχύτητας και έναν αισθητήρα θερμοκρασίας. Μπορούν αυτόματα να αντισταθμίζουν και να βαθμονομούν την αλλαγή θερμοκρασίας του αερίου. Το ηλεκτρικό τμήμα θέρμανσης του οργάνου θερμαίνει τον αισθητήρα ταχύτητας σε μια ορισμένη τιμή υψηλότερη από τη θερμοκρασία της κατάστασης λειτουργίας, έτσι ώστε να διαμορφώνεται μια σταθερή διαφορά θερμοκρασίας μεταξύ του αισθητήρα ταχύτητας και του αισθητήρα στην κατάσταση θερμοκρασίας λειτουργίας. Όταν η διαφορά θερμοκρασίας διατηρείται σταθερή, η ενέργεια που καταναλώνεται με ηλεκτρική θέρμανση είναι ανάλογη με τη ροή μάζας της ροής αερίου και είναι κατάλληλη για τη μέτρηση ενός και μόνο ποσοστού αερίου και σταθερού ποσοστού αερίου πολλαπλών συστατικών.