Έγχυση ιόντος
Dec 07, 2019| Έγχυση ιόντος
Η δέσμη ιόντων με ενέργεια 5 ~ 500kV βομβαρδίζει άμεσα την επιφάνεια του τεμαχίου. Δεδομένου ότι η ενέργεια ιόντων είναι αρκετά μεγάλη, τα ιόντα μπορούν να τρυπηθούν στο επιφανειακό στρώμα του επεξεργασμένου τεμαχίου εργασίας, να αλλάξουν τη χημική σύνθεση της επιφανειακής στρώσης και έτσι να αλλάξουν τις μηχανικές και φυσικές ιδιότητες του επιφανειακού στρώματος του κατεργαζόμενου τεμαχίου.
Αυτή η μέθοδος δεν περιορίζεται από τη θερμοκρασία, το οποίο στοιχείο και το μέγεθος σωματιδίων εγχέονται και μπορούν να εγχέουν διαφορετικά ιόντα (όπως ο φώσφορος, το άζωτο, ο άνθρακας κ.λπ.) σύμφωνα με διαφορετικές απαιτήσεις. Το εγχυόμενο επιφανειακό στοιχείο έχει καλή ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα και ο όγκος και το βάθος του κόκκου που εγχέονται μπορούν να ελεγχθούν, αλλά το κόστος εξοπλισμού είναι υψηλό, το κόστος είναι υψηλό και η παραγωγικότητα είναι χαμηλή.
IKS PVD μηχανή οπτικής επίστρωσης δέσμης ηλεκτρονίων, IKS-OPT2700, Περισσότερες λεπτομέρειες, ευπρόσδεκτη επικοινωνία iks.pvd@foxmail.com