Τεχνική διαδικασία της Diamond-Like Carbon (DLC) επιφανειακή επίστρωση τεχνολογίας

Τεχνολογία επίστρωση DLC (άνθρακας αδαμαντοειδούς) είναι μια επαγγελματική τεχνολογία που εφαρμόζεται στον τομέα της κοπής καλουπιών. Η βιομηχανική παραγωγή επίστρωση DLC ξεκίνησε στα τέλη του 20ου αιώνα, σε σύγκριση με το σκληρό επιχρίσματα που εφαρμόζονται στο καλούπι (π.χ. κασσίτερος, TiAlN, CrN, TiCN, κ.λπ.), είναι μια νέα τεχνολογία επίστρωσης. Σε συσκευασία ημιαγωγών, Καρφίτσωμα κοπής και διαμόρφωσης διαδικασία, υψηλής ακρίβειας μούχλας είναι το κλειδί για την εξασφάλιση της ποιότητας του προϊόντος και την ποιότητα επιφάνειας της φόρμας καθορίζει επίσης την ποιότητα του προϊόντος, την αποδοτικότητα παραγωγής και την ηλεκτρική απόδοση του προϊόντος. Επομένως, το καλούπι που εφαρμόζεται για τη συσκευάζοντας βιομηχανία ημιαγωγών απαιτεί όχι μόνο υψηλής ακρίβειας, αλλά και την ανάπτυξη των τμημάτων άκρη πεθαίνουν στην επιφάνεια με χαμηλό συντελεστή τριβής και υψηλή σκληρότητα και την επίστρωση με τεχνολογία επίστρωση DLC πλάσμα είναι το βασική λύση για το πρόβλημα αυτό.

Η διαδικασία επεξεργασίας DLC περιλαμβάνει υπόστρωμα επεξεργασίας (γυάλισμα, καθάρισμα) στο επεξεργαζόμενο κομμάτι για επεξεργασία, επιλογή του στόχου, ρύθμιση που διαμορφώνει συνθήκες της διεργασίας, σχηματισμός και μετα-που αποτελούν επιθεώρησης.

Για να πάρετε μια υψηλής ποιότητας επίστρωση DLC, η ποιότητα του τεμαχίου υποστρώματος είναι πολύ σημαντικό. Το τεμάχιο εργασίας πρέπει να είναι γυαλισμένο σε λιγότερο από Ra0.2um, και μετά από το επίστρωμα, το κομμάτι προς κατεργασία μπορεί να πάρει ικανοποιητική ποιότητα επιφάνειας, η οποία είναι πολύ σημαντική για τη διαμόρφωση ορισμένα τμήματα με οπτική απόδοση απαιτήσεις.

Το τεμάχιο εργασίας να επικαλυφθεί πρέπει να καθαριστεί πλήρως και η διαδικασία καθαρισμού εξαρτάται από την ποιότητα της επικάλυψης, υπόστρωμα και το γεωμετρικό σχήμα. Το τεμάχιο εργασίας τοποθετείται σε ένα σύνολο φωτιστικό, που έχει σχεδιαστεί με βάση τη βελτιστοποίηση το μέγεθος της κοιλότητας φόρτωσης και εξασφαλίζοντας την ομοιομορφία της επικάλυψης. Θαλάμου κενού είναι εκκενώνεται μέχρι 10-6 Torr (υψηλού κενού) για την εξάλειψη όλων των ρύπων στο σύστημα, και αδρανές αέριο προστίθεται στο θάλαμο κενού και ιονίζει, παράγουν λάμψη εκκένωσης (πλάσμα). Αυτό είναι το αέριο καθαρισμού φάση και προετοιμάζει το μέρος για αρχικών εναπόθεση μετάλλων.

Υψηλής τάσης, χαμηλής τάσης τόξα έχουν φορτωθεί πάνω στο στόχο, το μέταλλο εξατμίζεται και ακαριαία ιονισμένο, και αυτά τα μεταλλικά ιόντα εισέλθει στην αίθουσα συνεδριάσεων μέσω του αδρανούς αερίου ή αντιδραστικό αέριο υπό υψηλή ενέργεια, και στη συνέχεια ίζημα στο κομμάτι προς κατεργασία. Στη διαδικασία της εναπόθεσης, αλλάζοντας την ένταση ή το είδος του αερίου θα αλλάξετε τις ιδιότητες της ταινίας. Ο πίνακας 1 δείχνει τις παραμέτρους της μεθόδου που χρησιμοποιείται για στρώσεις διαφορετική ταινία.

Αφού ολοκληρωθεί η επίστρωση, η ποιότητα της ταινίας μετά το σχηματισμό του αντικειμένου εργασίας πρέπει να μετράται, συμπεριλαμβανομένων την στιλπνότητα του τεμαχίου εργασίας, αν το πάχος της ταινίας είναι ομοιόμορφη και το μέγεθος είναι εντός του εύρους του ελέγχου, και αν η ταινία είναι βαλμένο σε στρώσεις.

Εάν η γυαλάδα της ταινίας μετά από διαμόρφωση είναι άνιση και υπάρχει ένα σχέδιο, μπορεί να είναι ότι η καθαρότητα του στόχου δεν είναι αρκετό και περιέχει περισσότερες προσμίξεις. Μια άλλη πιθανότητα είναι ότι ο εξοπλισμός επίστρωσης έχει ένα πρόβλημα, και δεν υπάρχει καμία σταθερή διαδικασία περιβάλλον. Στην περίπτωση αυτή, το πρώτο πράγμα είναι να ελέγξει κατά πόσον ο εξοπλισμός έχει ένα πρόβλημα, αν όχι, ο στόχος πρέπει να αντικατασταθεί. Όταν ο εξοπλισμός είναι σταθερό, το πάχος της ταινίας εξαρτάται από τη διαμόρφωση χρόνου διαδικασίας.

Η πιο κοινή και δύσκολο πρόβλημα που λύνεται είναι ότι η πρόσφυση μεταξύ του τεμαχίου και η ταινία δεν είναι ισχυρή, και παρουσιάζεται το φαινόμενο αποκόλλησης. Υπάρχουν πολλοί λόγοι για αυτό το πρόβλημα. Ο κύριος λόγος είναι ότι στο προς βαφή αντικείμενο καθαρίζεται δεν καθαρά και διεξοδικά, και το κομμάτι προς κατεργασία δεν είναι γυαλισμένα για τις απαιτήσεις της διαδικασίας ή υπάρχουν ελαττώματα, και που αποτελούν τις παραμέτρους της διαδικασίας δεν είναι λογικές. Προκειμένου να λύσει το πρόβλημα της αποκόλλησης μεταξύ του υποστρώματος και η ταινία, μερικές φορές είναι απαραίτητο να προ-θεραπεία του επεξεργαζόμενου κομματιού από επικάλυψη του τεμαχίου με ένα στρώμα του μετάλλου εκ των προτέρων για την εξάλειψη του ελαττώματος του υποστρώματος.

Τύπος και διαδικασία παράμετροι της ταινίας στρώσης