Αντλία κενού και ταχύτητα άντλησης αντλίας κενού! Απολύτως πρακτικό.

Αντλία κενού και ταχύτητα άντλησης αντλίας κενού! Απολύτως πρακτικό.

Τα διαφορετικά συστήματα κενού απαιτούν διαφορετικούς βαθμούς κενού. Ως εκ τούτου, είναι συχνά απαραίτητο να συμπληρωθεί με ένα σύνολο μονάδων κενού, δηλαδή με εργασία σε διαφορετική περιοχή πίεσης αντλιών κενού συνδεδεμένων μεταξύ τους.

Η αντλία κενού στην πλευρά υψηλού κενού μπορεί να επιτύχει τον απαιτούμενο βαθμό κενού του συστήματος, ενώ η αντλία κενού στην πλευρά του χαμηλού κενού αποβάλλεται απευθείας στην ατμόσφαιρα. Προφανώς η απλούστερη μονάδα κενού είναι μια αντλία κενού που τρέχει κατευθείαν στην ατμόσφαιρα. Ωστόσο, ένα σύστημα υψηλού κενού γενικά απαιτεί μια μονάδα τριών σταδίων και ένα σύστημα μεσαίας κενού γενικά απαιτεί μια μονάδα δύο σταδίων.

Είναι δύσκολο για μια αντλία υψηλού κενού και μία αντλία χαμηλού κενού να σχηματίσει μια αποτελεσματική μονάδα υψηλού κενού. Υπάρχουν διάφοροι λόγοι για αυτό. Η συνέχεια της ροής είναι μία από αυτές. Η αντλία υψηλού κενού έχει τον περιορισμό της πίεσης του μπροστινού σταδίου, δηλαδή η μπροστινή βαθμίδα είναι υψηλότερη από μια ορισμένη πίεση, η αντλία δεν μπορεί να λειτουργήσει κανονικά. Όταν η αντλία τρέχουσας βαθμίδας φτάσει σε αυτή την κρίσιμη πίεση, η ταχύτητα άντλησης συχνά μειώνεται, έτσι ώστε η ροή καυσαερίων της προηγούμενης αντλίας σταδίου να είναι μικρότερη από τη ροή καυσαερίων της κύριας αντλίας, η ασυνεπής ροή καταστρέφει τις απαιτήσεις συνέχειας ροής, αναπόφευκτα η μονάδα κενού δεν μπορεί να λειτουργήσει σωστά. Αν όμως η αντλία υψηλής και χαμηλής κενού συνδέεται με μια μεσαία αντλία κενού, μπορεί να παίξει έναν ρόλο σύνδεσης, συνεχή ροή και κάθε αντλία μπορεί να λειτουργήσει στην καλύτερη κατάσταση. Roots αντλία μπορεί να λειτουργήσει στο εύρος κενού, είναι η πιο κατάλληλη, έτσι και γνωστή ως ριζοβολία αντλία αναμνηστική, λόγω του λόγου συμπίεσης του δεν είναι υψηλό, απλά μπορεί να συνδεθεί με λίγα Pa σε μερικές εκατοντάδες Ρα περιοχή. Όταν η μονάδα υψηλού κενού τριών σταδίων εισέρχεται σε υψηλότερο βαθμό κενού, η ροή καυσαερίων της κύριας αντλίας μειώνεται προφανώς και αυτή τη στιγμή, μόνο μια μικρότερη αντλία μπροστινού σταδίου μπορεί να διατηρήσει τη συνέχεια της εξαγωγής αέρα, η οποία χρησιμοποιείται συχνά στην πράξη, έτσι ώστε να μειωθεί η κατανάλωση ενέργειας της μονάδας.

Ένας άλλος λόγος για τον οποίο μια μονάδα υψηλού κενού συχνά απαιτεί μονάδα τριών σταδίων οφείλεται στον περιορισμό της πίεσης αναρρόφησης μιας αντλίας υψηλού κενού. Όλες οι αντλίες έχουν αρχική πίεση λειτουργίας και οι συμβατικές αντλίες υψηλού κενού κυμαίνονται από αρκετά Pa. Ως εκ τούτου, η προ-αντλία πρέπει να προ-αντληθεί στην πίεση της κύριας αντλίας για να αρχίσει η εργασία. Αλλά η ευθεία στάθμη πριν από την άντληση στην πίεση της ατμόσφαιρας απαιτεί συχνά μεγάλο χρονικό διάστημα, επειδή καθώς η πίεση για τη μείωση της ταχύτητας άντλησης της αντλίας μειώνει, ειδικά για την περιοδική μονάδα αναρρόφησης κενού, την ικανοποίηση των απαιτήσεων του βαθμού κενού ο χρόνος εργασίας είναι, τόσο περισσότερο καπνίζετε, επίσης, η μεγαλύτερη χρονική περίοδος στο βαθμό κενό της εργασίας, ως εκ τούτου, να αυξήσει το taichung με χαμηλή στάθμη πριν από την αντλία κενού, η αντλία κενού μπορεί να επιτύχει σε σχετικά σύντομο χρονικό διάστημα η κύρια αντλία μπορεί να λειτουργήσει το άγχος, έτσι ώστε να μπορέσουμε να κάνουμε το σύστημα το συντομότερο δυνατό στην πίεση εργασίας, να εγγυηθούμε την αποτελεσματικότητα του εξοπλισμού.

Και οι αντλίες των ριζών και η αντλία αντλίας λαδιού μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως μεσαία αντλία κενού. Η αντλία μοριακής αντλίας έχει πολύ υψηλή αναλογία συμπίεσης, η οποία όχι μόνο καθιστά δυνατή την επίτευξη καθαρού κενού, αλλά έχει επίσης εξαιρετική απόδοση σε υψηλό κενό. Ταυτόχρονα, έχει επίσης εξαιρετική ικανότητα άντλησης στο μεσαίο εύρος κενού. Αυτό κάνει την αντλία μοριακής αντλίας να είναι σήμερα η μόνη αντλία κενού με απόδοση μεσαίου και υψηλού κενού, επομένως μόνο η συνεργασία με την αντλία χαμηλού κενού μπορεί να αποτελέσει μια απόδοση συγκρίσιμη με τη μονάδα υψηλού κενού τριών σταδίων. Συγκεκριμένα, επειδή η μοριακή αναμνηστική αντλία υψηλής πίεσης, έτσι μπορεί να κάνει την πρώην αντλία εύκολη να είναι σε κατάσταση υψηλής ροής. Και η αναρρόφηση της αντλίας μοριακής αντλίας υψηλής πίεσης μειώνει το φορτίο πριν από την άντληση της αντλίας. Μοριακή αντλία αντλίας μπορεί να λειτουργήσει σε 100-50pa, η πίεση από την ατμόσφαιρα στο πρώτο στάδιο της αντλίας, βασικά σύμφωνα με το νόμο της κάθε φορά πίεση κάτω από μια τάξη μεγέθους, ως εκ τούτου, η μονάδα μπορεί να έχει υψηλή απόδοση εξαγωγής. Απλοποίηση της μονάδας υψηλού κενού και ακύρωση της αντλίας ριζών είναι ένα άλλο πλεονέκτημα της αντλίας μοριακής αντλίας. Για μεγαλύτερους εξοπλισμούς εφαρμογής υψηλού κενού, η προ-άντληση της αντλίας μπροστινού σταδίου μπορεί να ενισχυθεί κατάλληλα για να μειωθεί περαιτέρω ο χρόνος άντλησης. Επειδή ο χρόνος προ-άντλησης είναι πολύ μικρός σε σύγκριση με τη συνολική διαδικασία εξάτμισης, ο χρόνος χρήσης της αντλίας μπροστινού σταδίου είναι επίσης πολύ μικρός, ώστε να μπορεί να διπλασιαστεί ως η λειτουργία προφόρτισης πολλαπλών σετ εξοπλισμού, η οποία είναι συχνά πολύ ρεαλιστικός. Αυτό κάνει την εφαρμογή μεγάλης κλίμακας της μονάδας κενού να έχει απλοποιηθεί πολύ.

Σε μερικές εφαρμογές μέσου κενού, είναι απαραίτητο να εισαγάγετε το εύρος των 10-1pa, το οποίο συχνά είναι δύσκολο να υλοποιηθεί για τις αντλίες δευτερευόντων μονάδων ριζών και η χρήση των δευτερευουσών μονάδων που συνδέονται μαζί με τις αντλίες των ριζών μπορεί να βελτιώσει τον βαθμό κενού με ένα τάξη μεγέθους και εισάγεται 10-1pa, έτσι η εφαρμογή κενού χρησιμοποιείται επίσης ευρέως στις τριτογενείς μονάδες. Δεδομένου ότι η αντλία μοριακής αντλίας μπορεί να αντληθεί πλήρως στα 10-1pa, μπορεί επίσης να αντικαταστήσει την αντλία ριζών δύο σταδίων στη μονάδα κεντρικής κενού τριών σταδίων. Σε γενικές γραμμές, ο μεγάλος χρόνος που εργάζεται στο κενό του εύρους χαμηλής πίεσης της αντλίας ριζών, η μοριακή αναμνηστική αντλία μπορεί να αντικατασταθεί πλήρως. Και το μεγάλο χρονικό διάστημα που εργάζεται στην περιοχή πίεσης υψηλού κενού της αντλίας ριζών θα πρέπει να είναι σχετικά μικρό, επειδή αυτό το εύρος πίεσης πριν από την αντλία έχει συχνά ισχυρή ταχύτητα άντλησης.

Οποιαδήποτε ερώτηση σχετικά με την PVD μηχανή επικάλυψης κενού, επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, iks.pvd@foxmail.com