Το βίντεο αποκρυπτογραφεί την αρχή λειτουργίας της μοριακής αντλίας

Το βίντεο αποκρυπτογραφεί την αρχή λειτουργίας της μοριακής αντλίας

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Πώς λειτουργούν οι μοριακές αντλίες;

αρχή λειτουργίας:

Ο μηχανισμός αντλίας της μοριακής αντλίας είναι διαφορετικός από αυτόν μιας μηχανικής αντλίας, η οποία βασίζεται στην αλλαγή του όγκου του θαλάμου αντλίας για να εξαγάγει τον αέρα.

Η μοριακή αντλία κινείται από τον κινητήρα για να περιστρέφεται με υψηλή ταχύτητα. Στην περιοχή μοριακής ροής, τα μόρια αερίου συγκρούονται με την επιφάνεια της λεπίδας υψηλής ταχύτητας και η ορμή μεταφέρεται στα μόρια αερίου, έτσι ώστε μερικά από τα μόρια αερίου να κινούνται προς την κατεύθυνση της άκαμπτης επιφάνειας του σώματος και να εκδιώκονται από την αντλία , για να επιτευχθεί ο σκοπός της εξαγωγής αέρα. Συνήθως με την κίνηση υψηλής ταχύτητας της άκαμπτης επιφάνειας του σώματος για τη μεταφορά μορίων αερίου και την μετακίνηση προς μια ορισμένη κατεύθυνση του φαινομένου που είναι γνωστό ως φαινόμενο μοριακής έλξης, χρησιμοποιώντας αυτό το φαινόμενο που γίνεται από αντλία κενού γνωστή ως αντλία μοριακής αντλίας (αντλία gad). Το πλεονέκτημα της μοριακής αντλίας έλξης είναι ότι ο χρόνος εκκίνησης είναι μικρός, στην κατάσταση μοριακής ροής έχει υψηλή αναλογία συμπίεσης, μπορεί να αφαιρέσει όλα τα είδη αερίων και ατμών, ειδικά κατάλληλα για την εξαγωγή βαρύτερων αερίων. Ωστόσο, επειδή η ταχύτητα άντλησης της αντλίας μοριακής αντλίας έλξης είναι μικρή, το διάκενο στεγανοποίησης είναι πολύ μικρό, η αξιοπιστία της εργασίας είναι χαμηλή, η μηχανική βλάβη είναι εύκολη και οι κατασκευαστικές δυσκολίες χρησιμοποιούνται σπάνια. Αργότερα, βελτιώθηκε η μοριακή αντλία έλξης και εμφανίστηκε η μοριακή αντλία στροβιλοσυμπιεστή.

Η στροβιλομοριακή αντλία περιέχει πολλές ομάδες εναλλασσόμενων πτερυγίων ρότορα και σταθερών πτερυγίων ρότορα και υπάρχουν πολλές κεκλιμένες λεπίδες σε μια ορισμένη γωνία σε κάθε λεπίδα, όπως φαίνεται στο ΣΧ. 1. Η πραγματική μοριακή αντλία στροβιλοσυμπιεστή αποτελείται από έναν καταρράκτη πολλαπλών σταδίων, συγκεκριμένα, η λεπίδα ενεργοποίησης, η σταθερή λεπίδα και η κινούμενη λεπίδα τοποθετούνται εναλλάξ. Οι κινούμενες λεπίδες λειτουργούν σαν ηλεκτρικά πτερύγια ανεμιστήρα όταν περιστρέφονται, αντλώντας αέριο από τη μία πλευρά στην άλλη. Η αύξηση της ταχύτητας της μοριακής αντλίας είναι ευεργετική για τη βελτίωση της ταχύτητας άντλησης της μοριακής αντλίας. Λόγω του ορίου ταχύτητας της λεπίδας, εάν τα μόρια αερίου κινούνται ταχύτερα, είναι πιο δύσκολο να αντλείται κενό.

Μπορούμε να δούμε ότι η turbo μοριακή αντλία είναι επίσης ένα είδος μηχανικής αντλίας κενού. Ο συνδυασμός περιστρεφόμενων πολλαπλών σταδίων λεπίδων στροβίλου στροβίλου και στατικών λεπίδων χρησιμοποιείται για την εξαγωγή αέρα, η οποία παράγει ένα υψηλό λόγο συμπίεσης για το εξαγόμενο αέριο στην περιοχή μοριακής ροής, έτσι ώστε να επιτυγχάνεται η απαιτούμενη απόδοση κενού. Το τελικό κενό της στροβιλομοριακής αντλίας είναι υψηλότερο από την αντλία διάχυσης, μέχρι και τα 10-8pa. Κατά την κανονική λειτουργία, απαιτείται κάποιος βαθμός κενού της μπροστινής βαθμίδας, ο οποίος ποικίλλει ελαφρώς ανάλογα με την αντλία, κυμαινόμενος γενικά από 1 έως 200Pa. Η μηχανική αντλία μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως αντλία μπροστινού σταδίου. Η μονάδα υψηλού κενού αποτελείται από μοριακή αντλία και μηχανική αντλία. Λόγω της υψηλής ταχύτητας της turbo μοριακής αντλίας, συνήθως οδηγείται από τον κινητήρα, και αν η συχνότητα τροφοδοσίας είναι μεταξύ 300-400hz. Οι στροβιλομοριακές αντλίες συνήθως ψύχονται με νερό.

Η σύνθετη μοριακή αντλία είναι ένας συνδυασμός σειράς αντλίας μοριακής αντλίας στροβίλου και μοριακής αντλίας έλξης, η οποία συνδυάζει τα πλεονεκτήματα των δύο ειδών αντλιών σε μία και μπορεί να ευρίσκεται σε μια ευρεία περιοχή πίεσης των 10 ^ -6-1pa, με μεγαλύτερη ταχύτητα άντλησης και υψηλότερη αναλογία συμπίεσης, η οποία βελτιώνει σημαντικά την πίεση εξόδου της αντλίας.

  συνθήκες λειτουργίας :

(1) η ταχύτητα του δρομέα φτάνει τα 20000r / min, οπότε ο χρόνος έναρξης της μοριακής αντλίας είναι σχετικά μεγάλος.
(2) το αέριο είναι σε κατάσταση μοριακής ροής, οπότε πρέπει να είναι εξοπλισμένο με την αντλία μπροστινού σταδίου. Γενικά, η αντλία περιστροφικών πτερυγίων χρησιμοποιείται ως αντλία μπροστινού σταδίου

Χαρακτηριστικά μοριακής αντλίας:

Μοριακή αντλία λίπανσης λαδιού: η ποσότητα λιπαντικού ελαίου είναι μικρή και στο τμήμα κενού του πρώτου σταδίου, η ρύπανση του θαλάμου κενού είναι μικρή.
Λιπαντική λίπανση μοριακή αντλία: η ποσότητα λίπους είναι πολύ μικρή, η προ-στάδιο ξηρή αντλία μπορεί να πάρει ένα καθαρό κενό σχεδόν χωρίς λάδι.
Μοριακή αντλία πλήρους μαγνητικής ανάρτησης: δεν χρειάζεται λίπανση, μπορεί να χρησιμοποιηθεί με ξηρή αντλία, καθαρό περιβάλλον κενού χωρίς λάδι.

Άλλες κοινές εφαρμογές:

1. Ανάλυση (φασματομετρία μάζας, ηλεκτρονικό μικροσκόπιο, κ.λπ.)
2. Ημιαγωγοί (ηλεκτρονικά εξαρτήματα, ολοκληρωμένα κυκλώματα, εύκαμπτα ηλιακά στοιχεία κ.λπ.)
3. Οπτική / γυαλί (θερμική προστασία, αντανάκλαση, αντανάκλαση, οπτικό φίλτρο)
4. Επίστρωση (προστασία επιφάνειας, διακοσμητική βαφή, οθόνη, οθόνη)
5. Μεταλλουργία κενού (φούρνος κενού, συγκόλληση σε κενό, σύντηξη υπό κενό, κράμα κενού,)
6. Ανίχνευση διαρροών (σύστημα κενού, δεξαμενή καυσίμου οχήματος, αερόσακος)
7. Ερευνητικά πειράματα (απεικόνιση ιατρικού μαγνητικού συντονισμού, φυσική πυρηνικών σωματιδίων, έρευνα σύντηξης, εφαρμογές λέιζερ και πολλά άλλα)
8. Βιομηχανία παραγωγής λαμπτήρων και συναφείς βιομηχανίες

Η μηχανή επικάλυψης IKS PVD χρησιμοποιεί τη μοριακή αντλία μαγνητικής εκτόξευσης turbo. επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, για να λάβετε περισσότερες πληροφορίες σχετικά με την μηχανή επικάλυψης κενού PVD, iks.pvd @ foxmail.com