Ταξινόμηση της τάσης προκατάληψης στη διαδικασία επικάλυψης

Ταξινόμηση της τάσης προκατάληψης στη διαδικασία επικάλυψης:

1, συνεχές αρνητικό προκατάληψη
Τα θετικά ιόντα στο πλάσμα μπορούν να λάβουν περισσότερη ενέργεια φορτώνοντας αρνητική τάση προκατάληψης dc στο τεμάχιο εργασίας. Τα θετικά ιόντα μπορούν να επιταχύνουν τον βομβαρδισμό του τεμαχίου εργασίας και να καθοδηγήσουν την εναπόθεση των φορτωμένων ιόντων που εκτοξεύονται από την επιφάνεια του στόχου σε κάποιο βαθμό. Dc αρνητική προκατάληψη είναι συνεχής χωρίς διακοπή, έτσι έχει μια ορισμένη επίδραση θέρμανσης στο υπόστρωμα.
2, dc θετική προκατάληψη
Στην εκκένωση αερίου της επένδυσης ιόντων, τα πυρηνικά σωματίδια αερίου παρουσιάζουν ένα ορισμένο αρνητικό δυναμικό. Σε αυτή την περίπτωση, το τεμάχιο εργασίας φορτώνεται με μια ορισμένη θετική προκατάληψη, η οποία είναι επωφελής για την κατάθεση φιλμ.
3. Προκατάληψη σφυγμού
Ταλαντευτικό πλάσμα. Η πυκνότητα και η θερμοκρασία του πλάσματος μπορούν να αυξηθούν μειώνοντας την αναλογία καθήκοντος παλμού και αυξάνοντας την ένταση της παροχής παλμικής ισχύος. Η επίδραση βομβαρδισμού βελτιώνεται σε όλους τους τύπους υποστρωμάτων (αγώγημα & μη αγώγημα). Ως αποτέλεσμα, ο χρόνος επιβίωσης των δευτερευόντων ηλεκτρονίων αυξάνεται, η πιθανότητα σύγκρουσης αυξάνεται και η πυκνότητα του πλάσματος αυξάνεται. Το ποσοστό εναπόθεσης μπορεί να ελεγχθεί με τη ρύθμιση της συχνότητας σφυγμού και του κύκλου καθήκοντος. Η άνοδος θερμοκρασίας μπορεί να ελεγχθεί με τη ρύθμιση της συχνότητας σφυγμού και του κύκλου καθήκοντος, και η ταινία μπορεί να διαμορφωθεί στη χαμηλή θερμοκρασία για να αποφύγει τη ζημία στον αρχικό ιστό του υποστρώματος. Για πολλαπλά τόξα, το ποσοστό εναπόθεσης είναι πολύ γρήγορο, οπότε δεν είναι κατάλληλο για την εναπόθεση φιλμ ηλεκτρονικών συσκευών και άλλου τεμαχίου εργασίας ακριβείας. Η εισαγωγή της παλμικής προκατάληψης μπορεί να βελτιωθεί αποτελεσματικά.
4, μηδενική προκατάληψη και προκατάληψη αναστολής
Στη διαδικασία επικάλυψης χωρίς φορτισμένα σωματίδια (όπως απλή εξάτμιση κ.λπ.), μπορεί να χρησιμοποιηθεί μηδενική προκατάληψη/προκατάληψη εναιωρήματος.
Η ανοχή της επίστρωσης κομματιού εργασίας χαμηλής θερμοκρασίας (όπως τα πλαστικά μέρη, κ.λπ.), προκειμένου να αποφευχθεί η παραμόρφωση τεμαχίων εργασίας, μπορεί να επιλέξει τη μηδενική προκατάληψη/προκατάληψη αναστολής ή να επιλέξει τη μικρή τάση προκατάληψης χαμηλού πλάτους κύκλων καθήκοντος.

Εταιρεία IKS PVD, διακοσμητική μηχανή επιστρώματος, μηχανή επιστρώματος εργαλείων, μηχανή επιστρώματος DLC, οπτική μηχανή επιστρώματος, κενή γραμμή επιστρώματος PVD, το turn-key πρόγραμμα είναι διαθέσιμο. Επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, e-mail:iks.pvd@foxmail.com