Κοινή μέθοδος συντήρησης της μηχανής επικάλυψης κενού

Κοινή μέθοδος συντήρησης της μηχανής επικάλυψης κενού

Όταν η βλάβη του μηχανήματος επίστρωσης κενού πρέπει πρώτα να κατανοήσει το χρήστη του φαινομένου της βλάβης, μετά την εκκίνηση για να παρατηρήσει το σφάλμα, ώστε να είναι ακριβέστερη, ταχύτερη και πιο λογική αντιμετώπιση προβλημάτων.

Όταν η ανίχνευση βλαβών της μηχανής επικάλυψης κενού πρέπει να ανιχνεύσει το χαμηλό κενό είναι φυσιολογικό (μηχανική αντλία, αντλία ρίζας, σωλήνας, θάλαμος, εξατμιστής), το χαμηλό κενό είναι φυσιολογικό για να ανοίξει η κύρια αντλία, η κύρια αντλία είναι κανονική αφού ο έλεγχος στον θάλαμο κενού είναι φυσιολογικός, για να ανοίξει ο υψηλός θάλαμος βαλβίδας υπό κενό χρησιμοποιείται για να ανιχνεύσει την ανίχνευση διαρροών υψηλού κενού, μέχρι να επιτευχθεί κενό, περιορίζοντας το κενό, το κενό, το κενό, όπως το όριο του κενού και του κενού είναι φυσιολογικό και το κενό και το κενό δεν είναι φυσιολογικό μπορεί να υπάρχει κάτι συμβαίνει με την κύρια αντλία.

Οι συνήθεις αποτυχίες και οι μέθοδοι συντήρησης της μηχανής επικάλυψης κενού αναφέρονται ως εξής:

Ενας. Όταν η επίστρωση βρίσκεται σε εξέλιξη, το κενό μειώνεται ξαφνικά:

1, απώλεια νερού εξάτμιση απώλεια των συνθετικών δακτυλίων (αντικατάσταση) των συνθετικών

2, το χωνευτήριο φέρεται (αντικατάσταση του χωνευτηρίου)

3, η στεγανοποίηση ηλεκτροδίων υψηλής τάσης ήταν καταστροφή (αντικατάσταση) συνθετικών

4, περιστρεφόμενη βλάβη σφραγίδα των ποδιών (αντικατάσταση) των συνθετικών

5, η πιλοτική βαλβίδα έκλεισε ξαφνικά μπορεί να είναι δύο ζημιές βαλβίδας πέντε κατευθύνσεων (δύο αντικατάσταση βαλβίδας πέντε κατευθύνσεων)

6, υψηλή βαλβίδα κλειστή ξαφνικά μπορεί να είναι δύο βλάβη πέντε βαλβίδων (δύο αντικατάσταση βαλβίδα πέντε)

7, ο μηχανικός χρόνος διακοπής της αντλίας μπορεί να αποσυνδεθεί από το ρελέ (ελέγξτε αν ο ηλεκτρονόμος είναι κανονικός)

8, σφραγίδα ηλεκτρόδιο μολύβδου ψησίματος ήταν καταστροφή (αντικατάσταση) των συνθετικών

9, η δυναμική διαφράγματος σφράγιση καλύπτει βλάβη (αντικατάσταση) των συνθετικών

10, ρωγμή φακού παρατήρησης γυαλιού, Fried Crack (αντικατάσταση γυαλιού)

Δύο. Ο μακροχρόνιος χρόνος υποπίεσης της μηχανής επίστρωσης είναι πολύ μακρύς και δεν μπορεί να φτάσει στο κενό, την ανάκτηση κενού, το όριο κενού,

1, ο θάλαμος εξάτμισης έχει πολλή σκόνη (θα πρέπει να σβήσει) 2, η αντλία διάχυσης πετρελαίου για μεγάλο χρονικό διάστημα δεν άλλαξε (πρέπει να διαγράψει την αλλαγή λαδιού) 3, χαμηλή αντλία κενού αντλία κενού πριν η πίεση είναι πολύ μεγάλη, θα πρέπει να διαγράψετε το λάδι (η αντικατάσταση) του συνθετικού 5, λόγω της θερμοκρασίας του θαλάμου εξάτμισης, είναι υπερβολικά υψηλή για μεγάλο χρονικό διάστημα για να γίνει η στεγανοποίηση (αντικατάσταση) του στεγανοποιητικού δακτυλίου από το δακτύλιο ο-δακτυλίου του συνθετικού θαλάμου εξάτμισης 6 η εισαγωγή της στεγανοποίησης νερού για τις ποδιές βλάβη (αντικατάσταση) των συνθετικών 7, η εισαγωγή ενός βίδα, παξιμάδι χαλαρό φαινόμενο (αντίθλιψη) 8, υψηλή και χαμηλή εκτίμηση βαλβίδα είναι αξιόπιστη σφράγιση (πετρέλαιο)

Η κοινή μέθοδος συντήρησης μηχανής επίστρωσης κενού είναι κοινόχρηστη εδώ.

Οποιαδήποτε ερώτηση σχετικά με την τεχνολογία επίχρισης PVD κενού, καλωσορίστε την επαφή μαζί μας τώρα, iks.pvd @ foxmail.com