Εξάτμιση με ηλεκτρονική δέσμη

Εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων

Τεχνολογία εξάτμισης - εξάτμιση με δέσμη ηλεκτρονίων

Επίστρωση εξάτμισης υπό κενό: Μια διαδικασία κατά την οποία ένα στερεό υλικό θερμαίνεται σε περιβάλλον υψηλού κενού για να εξατμιστεί ή να εξατμιστεί και να εναποτεθεί σε ένα συγκεκριμένο υπόστρωμα για να ληφθεί ένα φιλμ.

Τεχνολογία εξάτμισης κενού:

Αντίσταση θερμική εξάτμιση

2. Εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων

3. Εξάτμιση επαγωγής υψηλής συχνότητας

4. Εξάτμιση δέσμης λέιζερ

Μια συνήθως χρησιμοποιούμενη μέθοδος εξάτμισης θέρμανσης αντοχής είναι η τοποθέτηση του υλικού που πρόκειται να εξατμιστεί σε μια συσκευή θέρμανσης αντίστασης και η θέρμανση αντίστασης στο κύκλωμα τροφοδοτεί τη θερμότητα εξάτμισης για να εξατμιστεί το προς εναπόθεση υλικό. Στη μέθοδο αυτή, τα χρησιμοποιούμενα υποστηρικτικά θερμαντικά υλικά είναι πυρίμαχα μέταλλα όπως το βολφράμιο, το ταντάλιο και το μολυβδαίνιο, τα οποία όλα έχουν υψηλά χαρακτηριστικά τήξης και χαμηλής τάσης ατμών. Το θερμαντικό υλικό υποστήριξης γενικά παίρνει τη μορφή ενός νήματος ή ενός φύλλου.

Όπως φαίνεται, η συσκευή θέρμανσης είναι κατασκευασμένη από λεπτό σύρμα βολφραμίου / μολυβδαινίου (διαμέτρου 0,05-0,13 cm). Ο εξατμιστής τοποθετείται απευθείας στη συσκευή θέρμανσης με νήμα. Όταν θερμαίνεται, ο εξατμιστής διαβρέχει το σύρμα αντοχής και υποστηρίζεται από την επιφανειακή τάση. Ένα συνηθισμένο σύρμα με πολλαπλούς κλώνους παρέχει μεγαλύτερο εμβαδόν επιφάνεια από ένα απλό κλώνο. Αυτός ο τύπος συσκευής θέρμανσης έχει τέσσερα μεγάλα μειονεκτήματα:

(1) Μπορούν να χρησιμοποιηθούν μόνο για την εξάτμιση μετάλλων ή ορισμένων κραμάτων:

(2) Μόνο μια περιορισμένη ποσότητα εξατμισμένου υλικού εξατμίζεται κατά τη διάρκεια μιας ορισμένης χρονικής περιόδου:

(3) Κατά τη θέρμανση, το υλικό εξάτμισης πρέπει να βρέξει το σύρμα αντοχής:

(4) Αφού θερμανθούν, αυτά τα ηλεκτρικά νήματα γίνονται εύθραυστα και θα σπάσουν αν δεν τα χειριστεί σωστά.

Το κοίλο φύλλο είναι κατασκευασμένο από ένα φύλλο βολφραμίου, ταντάλιο ή μολυβδαίνιο και έχει ένα πάχος που κυμαίνεται γενικά από 0,005 έως 0,015 ίντσες. Αυτή η συσκευή πηγής εξάτμισης είναι η πλέον κατάλληλη όταν υπάρχει μόνο μια μικρή ποσότητα υλικού εξάτμισης. Όταν θερμαίνεται σε κενό, το βολφράμιο, το ταντάλιο ή το μολυβδαίνιο θα γίνουν εύθραυστα, ειδικά όταν αυτά είναι κράματα με το υλικό εξάτμισης.

Τα κύρια μειονεκτήματα της ηλεκτρικής εξάτμισης θέρμανσης ζαγκέτας είναι:

(1) Το χωνευτήριο στήριξης και το υλικό αντιδρούν με το εξατμιστή.

(2) Είναι δύσκολο να ληφθεί μια επαρκώς υψηλή θερμοκρασία για την εξάτμιση των διηλεκτρικών υλικών όπως Α1203, Ta2O5, TiO2 και τα παρόμοια.

(3) Ο ρυθμός εξάτμισης είναι χαμηλός.

(4) Το κράμα ή η ένωση θα αποσυντεθούν όταν θερμαίνονται.

Εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων: Μέθοδος κατά την οποία ένα υλικό εξάτμισης τοποθετείται σε ένα υδρόψυκτο χωνευτήριο και θερμαίνεται απευθείας από μια δέσμη ηλεκτρονίων για να εξατμιστεί το υλικό εξάτμισης και να συμπυκνωθεί στο υπόστρωμα για να σχηματίσει μια λεπτή μεμβράνη.

Το μειονέκτημα της εξάτμισης με αντοχή στη θέρμανση είναι ότι η μέθοδος δεν είναι κατάλληλη για την εξάτμιση ουσιών υψηλής καθαρότητας ή υψηλής τήξης και η εξάτμιση με δέσμη ηλεκτρονίων μπορεί να υπερνικήσει αυτή την ανεπάρκεια αντίστασης εξάτμισης και έτσι η θέρμανση με δέσμη ηλεκτρονίων έχει γίνει υψηλή τήξη εξάτμισης φιλμ και υψηλή καθαρότητα. Μια σημαντική μέθοδος ταινίας. Στην τεχνολογία εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, μια δέσμη ηλεκτρονίων επιταχύνεται αφού περάσει ένα ηλεκτρικό πεδίο 5-10 kV.

Τέλος, εστιάστε στην επιφάνεια του υλικού που πρόκειται να εξατμιστεί. Όταν η δέσμη ηλεκτρονίων πλήξει την επιφάνεια του υλικού που πρόκειται να εξατμιστεί, τα ηλεκτρόνια θα χάσουν γρήγορα την ενέργεια τους, θα μεταφέρουν την ενέργεια στο υλικό που πρόκειται να εξατμιστεί για να λιώσει και να εξατμιστεί, δηλαδή η επιφάνεια του υλικού που πρόκειται να εξατμιστεί θερμαίνεται απευθείας από τη συγκρουόμενη δέσμη ηλεκτρονίων. Η μέθοδος θέρμανσης είναι πολύ διαφορετική.

Επειδή το εξερχόμενο υλικό που έρχεται σε επαφή με το χωνευτήριο που περιέχει το προς εξαέρωση υλικό παραμένει στερεό καθ 'όλη τη διαδικασία εναπόθεσης εξάτμισης, ελαχιστοποιείται η πιθανότητα εξατμίσεως του υλικού που αντιδρά με το χωνευτήριο. Η εξάτμιση των υλικών σε υδρόψυκτους χωνευτήρες απευθείας με θέρμανση μέσω δέσμης ηλεκτρονίων είναι μια κοινή μέθοδος στην εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων. Για την εξάτμιση των ενεργών υλικών, ιδιαίτερα των ενεργών πυρίμαχων υλικών, είναι απαραίτητη η ψύξη με νερό του χωνευτηρίου. Με την ψύξη με νερό, η αντίδραση μεταξύ του υλικού εξάτμισης και του τοιχώματος του χωνευτηρίου μπορεί να αποφευχθεί, οπότε μπορεί να παρασκευαστεί ένα φιλμ υψηλής καθαρότητας.

Στο σύστημα εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, η συσκευή που παράγει τη δέσμη ηλεκτρονίων γίνεται ηλεκτρονικό όπλο. Σύμφωνα με διαφορετικές μεθόδους ηλεκτρονικής εστίασης, το πιστόλι ηλεκτρονίων μπορεί να χωριστεί σε ένα δακτυλιοειδές όπλο, ένα ευθεία όπλο και ένα ηλεκτρονικό όπλο.

Το δακτυλιοειδές όπλο εκπέμπει μια δέσμη ηλεκτρονίων από μια δακτυλιοειδή κάθοδο, η οποία εκτρέπεται από τον δακτύλιο καθόδου και στη συνέχεια χτυπάει το 坩 埚 (

Το υλικό εξατμίζεται στην άνοδο) όπως φαίνεται στο δομικό τμήμα. Η δακτυλιοειδής δομή τύπου δαχτυλιδιού είναι απλή, οικονομική

Χαμηλή, εύκολη στη χρήση. Ωστόσο, επειδή η κάθοδος του πυροβόλου όπλου είναι πολύ κοντά στην άνοδο, είναι εύκολο να σπάσει.

Το σύρμα είναι επίσης εύκολα μολυσμένο. Την ίδια στιγμή, η θέση κηλίδας της δέσμης ηλεκτρονίων είναι σταθερή και είναι εύκολο να εμφανιστεί

Pit "Εξάτμιση Επειδή η ισχύς και η απόδοση του δακτυλιοειδούς πυροβόλου δεν είναι υψηλή, έχει χρησιμοποιηθεί λιγότερο.

Πλεονεκτήματα: απλή δομή, χαμηλό κόστος και εύκολη στη χρήση

Μειονεκτήματα: Εύκολη κυματική μόλυνση από νήματα

Η σταθεροποίηση του σημείου είναι επιρρεπής στην εξάτμιση του "λάκκου"

Η ισχύς και η απόδοση δεν είναι υψηλές

Ένα ευθεία όπλο είναι ένα άξονας συμμετρίας γραμμικό όπλο επιτάχυνσης. Η δέσμη ηλεκτρονίων που εκπέμπεται από το νήμα θέρμανσης επιταχύνεται από την άνοδο και κατόπιν εστιάζεται από ένα μαγνητικό πεδίο και στη συνέχεια βομβαρδίζεται με το υλικό στο χωνευτήριο για να λιώσει και να εξατμιστεί. Ανάμεσά τους, η δράση του πηνίου εκτροπής xy Πρόκειται να γίνει η εστιασμένη δέσμη ηλεκτρονίων να μετακινηθεί σε ένα μικρό εύρος, έτσι ώστε να μπορεί να ρυθμιστεί η θέση του σημείου εστίασης.

Πλεονεκτήματα: εύκολο στη χρήση? (μερικές εκατοντάδες βάσεις έως αρκετές εκατοντάδες ξηρά βατ) είναι εύκολο να προσαρμοστεί

Μειονεκτήματα: Ο εξοπλισμός είναι ογκώδης, η δομή είναι πολύπλοκη και το κόστος είναι υψηλό: η εξάτμιση του υλικού του χωριού θα μολύνει τη δομή του σώματος του πυροβόλου όπλου και τα ιόντα νατρίου που διαφεύγουν στο νήμα θα προκαλέσουν λεκέδες στο φιλμ.

Το ηλεκτρονικό όπλο είναι ένα πιστόλι ηλεκτρονίων που εκτρέπει την δέσμη ηλεκτρονίων κατά 270 ° και ονομάζεται μετά την τροχιά του ηλεκτρονίου που έχει σχήμα "e".

Η δέσμη ηλεκτρονίων που εκπέμπεται από το νήμα επιταχύνεται από τάση πολώσεως πολλών χιλιάδων βολτ και υποβιβάζεται

Αφού το μαγνητικό πεδίο αποκλίνει κατά 270 ° , το υλικό εξάτμισης στο χωνευτήριο βομβαρδίζεται για να λιώσει και να εξατμιστεί.

Πλεονεκτήματα: Αποφύγετε τη μόλυνση του νήματος από το υλικό εξάτμισης και τη μόλυνση του νήματος από λεπτό νήμα

Υψηλή ισχύς (περίπου 10kW). Εξάτμιση υψηλού σημείου τήξης

Η ενέργεια των σωματιδίων εξάτμισης είναι υψηλή, η πρόσφυση της μεμβράνης στο υπόστρωμα είναι μεγάλη και η ποιότητα σχηματισμού φιλμ είναι καλή.

Μειονεκτήματα: απαιτείται υψηλό κενό και απαιτείται εξοπλισμός υψηλής τάσης. Η δομή του εξοπλισμού είναι περίπλοκη, είναι δύσκολο να διατηρηθεί και το κόστος εξοπλισμού είναι υψηλό.

Τα πλεονεκτήματα της εξάτμισης της ηλεκτρικής δέσμης είναι τα εξής: (1) Μπορεί να θερμαίνει άμεσα το υλικό εξάτμισης, να μειώσει την απώλεια θερμότητας και να έχει υψηλότερη θερμική απόδοση: (2) Η πυκνότητα ενέργειας που παράγεται από τη δέσμη ηλεκτρονίων είναι μεγάλη και το υλικό με υψηλή το σημείο τήξης (μεγαλύτερο από 3000 ° C) μπορεί να εξατμιστεί. , και έχει υψηλότερο ρυθμό εξάτμισης: (3) Το χωνευτήριο που περιέχει το υλικό εξάτμισης είναι κρύο ή ψυχόμενο με νερό, το οποίο μπορεί να αποφύγει την αντίδραση του υλικού εξάτμισης και την εξάτμιση του υλικού του περιέκτη, βελτιώνοντας έτσι την καθαρότητα της μεμβράνης.

Τα μειονεκτήματα είναι τα εξής: (1) Η συσκευή θέρμανσης είναι πολύπλοκη: (2) Τα μόρια υπολειμματικού αερίου στον ευθύγραμμο χώρο και ο ατμός του μερικώς εξατμισμένου υλικού ιονίζονται από τη δέσμη ηλεκτρονίων, γεγονός που μπορεί να επηρεάσει τη δομή και τις φυσικές ιδιότητες η ταινία.

Το IKS-OPT2700 είναι μηχανή επικάλυψης εξάτμισης με δέσμη ηλεκτρονίων, οποιαδήποτε ερώτηση, επικοινωνήστε με: iks.pvd@foxmail.com