Ανάπτυξη του κινηματογράφου

Όλες τις διεργασίες εναπόθεσης υμενίων αποτελείται από τρία βήματα:

1. παραγωγή της ταινίας σχηματίζοντας ειδών

2. η μεταφορά αυτών των ειδών από την πηγή στο υπόστρωμα

3. συμπύκνωση και ραφές στο υπόστρωμα

Στο PVD εξάτμιση είτε sputtering είναι το πρώτο βήμα, το δεύτερο βήμα συνεπάγεται line-of-sight μεταφορών, εάν η διαδικασία πίεση είναι πολύ χαμηλή και υπάρχει μια μικρή πιθανότητα για συγκρούσεις ή μια ροή μεταφοράς, αν η πίεση είναι υψηλή. Το είδος της μεταφοράς επηρεάζει την πραγματική ανάπτυξη της ταινίας στο τρίτο βήμα.

Όταν ένα άτομο που φτάνει στην επιφάνεια του υποστρώματος και είναι να είναι προσροφημένος, αυτό θα διαχέονται στην επιφάνεια μέχρι να είναι είτε desorbed ή να κολλήσει σε μια ενεργητική ευνοϊκή τοποθεσία. Αυτό επιφάνεια διάχυσης εξαρτάται από τι ενέργεια που το άτομο έχει κατά την άφιξη στην επιφάνεια και αν το υπόστρωμα τροφοδοτείται από μια πρόσθετη ενέργεια, π.χ. από θέρμανση ή ιόντων βομβαρδισμό. Η ενέργεια του ατόμου εξαρτάται από την πίεση στο θάλαμο εναπόθεση, μια μείωση της υψηλής πίεσης της ενέργειας λόγω ενεργειακών απωλειών σε συγκρούσεις. Του βομβαρδισμού ιόντων της επιφάνειας είναι δυνατή σε πλάσμα με βάση μεθόδους και μπορεί να ελέγχεται από μια αρνητική τάση πόλωσης του υποστρώματος σε σχέση με το πλάσμα.

Αν το άτομο μπαστούνια με ένα άλλο άτομο ταινία στην επιφάνεια, δημιουργείται ένα ζευγάρι χαμηλή κινητικότητα και αυτό αυξάνει την πιθανότητα για ένα ακόμη άτομο να επιμείνουμε σε αυτούς. Σε έναν κρίσιμο αριθμό ατόμων, ή μια κρίσιμη πυρήνες-μέγεθος, σχηματίζεται ένας πυρήνας. Αυτοί οι πυρήνες θα αυξηθεί σε κρυσταλλική νησιά που θα συνυπάρξουν κατά τη συνάντηση μεταξύ τους και τελικά να σχηματίζουν μια συνεχή ταινία. Ανάλογα με τις παραμέτρους της διαδικασίας της ανάπτυξης του κινηματογράφου θα συνεχίσει με διαφορετικούς τρόπους, δίνοντας διαφορετική μικροδομών. Η ταινία μπορεί να αυξηθεί, στρώμα με στρώμα ή σε 3D-νησιά ή σε συνδυασμό αυτών των δύο ανάπτυξη τρόπων.

PVD την ανάπτυξη ταινιών είναι συχνά στήλες, δηλαδή κρυσταλλιτών μεγαλώνουν σε στήλες με περισσότερο ή λιγότερο ανεπτυγμένες όρια σιταριού μεταξύ τους. Όρια σιταριού μπορεί να περιέχει κενά και να χειροτερεύει περισσότερες ιδιότητες της ταινίας, αλλά μια πραγματική πυκνό, κυλινδρικά ταινία μπορεί να έχουν για παράδειγμα άριστες εφαρμό­ζονται ιδιότητες. Μια πλήρης πυκνό μικροδομή στην ταινία είναι συχνά πολύ επιθυμητή. Όπως η πυκνή μικροδομή προωθείται από βομβαρδισμό ιόντων της αυξανόμενης ταινίας, τέτοιες ταινίες μπορεί συχνά να κατατεθεί από PVD-μέθοδοι στο πλάσμα υψηλής πυκνότητας.

Έχουν αναπτυχθεί διάφορα μοντέλα ανάπτυξης φιλμ για την επιρροή της η εναπόθεση προϋπόθεση σχετικά με τη μικροδομή της ταινίας. Που χρησιμοποιούνται συνήθως είναι εμπειρικά δομή μοντέλα ζώνη όπου η ανάπτυξη διαφορετικών τρόπων (ζώνες) εντοπίζονται σε ένα διάγραμμα για διαφορετικές συνθήκες θερμοκρασίας, λιώσιμο θερμοκρασία αναλογίες (T/T m). Μια εκτεταμένη αναθεώρηση των εν λόγω μοντέλων δημοσιεύθηκε από John A. Thornton το 1977 και εδώ ακολουθεί μια σύντομη περίληψη του αυτό. Movchan και Demchishin, έκανε την ακόλουθη ταξινόμηση: ζώνη 1 εμφανίζεται όταν T/T m< 0.3="" and="" is="" characterized="" by="" high="" surface="" roughness="" and="" voided="" grain="" boundaries.="" zone="" 2="" appears="" when="" 0.3="">< t/t="" m="">< 0.5="" and="" is="" characterized="" by="" a="" mat,="" smooth="" surface="" and="" columnar="" grains="" with="" distinct,="" dense="" boundaries.="" zone="" 3="" appears="" when="" 0.5="">< t/t="" m="">< 1="" and="" are="" characterized="" by="" a="" bright="" surface="" and="" equiaxed="" grains.="" the="" structure="" and="" properties="" of="" this="" zone="" are="" close="" to="" bulk="" material.="" thornton="" has="" proposed="" an="" extended="" model="" where="" the="" influence="" of="" the="" process="" gas="" pressure="" is="" added="" into="" a="" second="" axis="" in="" the="" diagram.="" in="" this="" diagram="" a="" fourth="" zone="" (zone="" t,="" transition)="" can="" be="" identified="" between="" zone="" 1="" and="" zone="" 2.="" the="" zone="" t="" structure="" is="" dense="" and="" fibrous="" without="" voided="" grain="">