Μηχανισμοί Αντίδρασης CVD

Η CVD μπορεί να πραγματοποιηθεί χρησιμοποιώντας διάφορους τύπους μηχανισμών αντίδρασης, όπως θερμική CVD, CVD ενισχυμένη με πλάσμα και CVD ενισχυμένη με φως. Κάθε μηχανισμός έχει τα πλεονεκτήματα και τα μειονεκτήματά του και η επιλογή του μηχανισμού εξαρτάται από τις επιθυμητές ιδιότητες και εφαρμογές του φιλμ.
Σε ένα ζεστό CVD, το πρόδρομο αέριο θερμαίνεται σε υψηλές θερμοκρασίες για να προωθήσει τη χημική αντίδραση απόθεσης ενός στερεού φιλμ στο υπόστρωμα. Σε CVD ενισχυμένη με πλάσμα, το πρόδρομο αέριο ιονίζεται για να παράγει πλάσμα, το οποίο προάγει τις χημικές αντιδράσεις και αυξάνει τους ρυθμούς εναπόθεσης. Σε ένα φωτοενισχυμένο CVD, το πρόδρομο αέριο ακτινοβολείται με υπεριώδες φως για να προωθήσει μια χημική αντίδραση.

Εταιρεία IKS PVD, μηχανή διακοσμητικής επίστρωσης, μηχανή επίστρωσης εργαλείων, μηχανή επίστρωσης DLC, μηχανή οπτικής επίστρωσης, γραμμή επίστρωσης κενού PVD, το έργο με το κλειδί στο χέρι είναι διαθέσιμο. Επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, E-mail: iks.pvd@foxmail.com