Έλεγχος μάζας χαμηλής πίεσης PMFC - PFC-20
Ο ελεγκτής ροής μάζας PFC-20, χαμηλής πίεσης παρέχει μέγιστη αξιοποίηση των αερίων πηγής ασφαλούς παράδοσης. Η εφαρμογή του pMFC χαμηλής πίεσης αυξάνει το χρόνο λειτουργίας του εργαλείου μειώνοντας τη συχνότητα αλλαγών κυλίνδρων αερίου πηγής. Προσφέρει ακριβή και ακριβή έλεγχο του χαμηλού αερίου ...
- Εισαγωγή προϊόντος
ΕΙΣΑΓΩΓΗ
Ο ελεγκτής ροής μάζας PFC-20, χαμηλής πίεσης παρέχει μέγιστη αξιοποίηση των αερίων πηγής ασφαλούς παράδοσης. Η εφαρμογή του pMFC χαμηλής πίεσης αυξάνει το χρόνο λειτουργίας του εργαλείου μειώνοντας τη συχνότητα αλλαγών κυλίνδρων αερίου πηγής. Προσφέρει ακριβή και ακριβή έλεγχο των χαμηλών ροών αερίου σε ευρεία κλίμακα πίεσης με πίεση παροχής αερίου πηγής τόσο χαμηλή όσο 4 Torr.
Αυτό το pMFC είναι το τελευταίο προϊόν των MKS που έχει σχεδιαστεί ειδικά για αέρια πηγής SDS και VAC ® που εξυπηρετούν τη βιομηχανία εμφύτευσης ιόντων. Οι κατοχυρωμένες με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας σχεδιασμοί βαλβίδων και αισθητήρων προσφέρουν εξαιρετική σταθερότητα και ακρίβεια μηδενισμού για όλες τις συνθήκες ροής, διατηρώντας παράλληλα την ικανότητα ταχέως να επιτυγχάνουν το επιθυμητό σημείο και να ελέγχουν κατ ' Τα τυπικά μεγέθη αποτυπώματος MFC και τα I / O ελέγχου είναι συμβατά με τις υπάρχουσες γραμμές αερίου για εύκολη ενσωμάτωση και λειτουργία.
ΧΑΡΑΚΤΗΡΙΣΤΙΚΑ & ΠΛΕΟΝΕΚΤΗΜΑΤΑ
◆ Μεγιστοποιεί την απορρόφηση της χρήσης του αερίου SDS, μειώνοντας τις αλλαγές των φιαλών, με αποτέλεσμα το υψηλότερο χρόνο λειτουργίας του εργαλείου και το χαμηλότερο κόστος ιδιοκτησίας
◆ Ελέγχει επανειλημμένα τις χαμηλές ροές αερίου επιτρέποντας τη μείωση της κατανάλωσης αερίου με τη χρήση παραμέτρων βελτιστοποιημένων για εφαρμογές πηγής εμφυτεύματος
◆ Ο ψηφιακός βρόχος ελέγχου παρέχει ταχεία ανταπόκριση στο ελάχιστο απαιτούμενο χρόνο κύκλου επεξεργασίας
◆ Αυξάνει το χρόνο λειτουργίας του εργαλείου μέσω της μείωσης του "No Problem Found": Αντικατάσταση του MFC
- Περιλαμβάνει ενσωματωμένα διαγνωστικά και λογισμικό που επιτρέπει στους χρήστες να ελέγχουν τη λειτουργία MFC χωρίς να αφαιρούν το MFC
-Η διαγνωστική μέσω ενσωματωμένης διασύνδεσης Ethernet επιτρέπει την παρακολούθηση παραμέτρων απόδοσης κατά τη λειτουργία
◆ Απευθείας αντικατάσταση της συνάρτησης φόρμας για τα περισσότερα κοινά MFC
◆ Μειώνει το κόστος αποθεμάτων μέσω της ικανότητας πολλαπλών αερίων, πολλαπλών φάσεων
◆ Απλή διαμόρφωση και διάγνωση μέσω διεπαφής Ethernet
- Χρησιμοποιεί τυπικό πρόγραμμα περιήγησης στο Web - δεν απαιτείται ειδικό λογισμικό
- Περιλαμβάνει εφαρμογή απομακρυσμένου υπολογιστή
◆ Η φωτεινή περιστρεφόμενη οθόνη LED παρέχει εύκολη προβολή του ρυθμού ροής, του τύπου αερίου, της κλίμακας πλήρους κλίμακας ροής, της θερμοκρασίας και της διεύθυνσης Ethernet
ΣΧΕΔΙΑΣΤΙΚΑ ΣΧΕΔΙΑ ΚΑΙ ΔΙΠΛΩΜΑΤΑ
ΠΡΟΣΔΙΟΡΙΣΜΟΣ
| Εκτέλεση | ||
| Ομάδες πλήρους κλίμακας (ισοδύναμο N 2 ) | 2- 20 sccm | |
| Εύρος πίεσης εισόδου | 4 - 1200 Torr (με κενό στην έξοδο) | |
| Κανονική διαφορά πίεσης λειτουργίας (ισοδύναμο N 2 ) | <10 torr="" στη="" ροή="" fs="" (με="" κενό="" στην=""> | |
| Μέγιστη πίεση καθαρισμού | 150 psig | |
| Πίεση έκρηξης | 1500 psig | |
| Περιοχή ελέγχου | 2 έως 100% FS | |
| Τυπική ακρίβεια | ± 1% της τιμής ρύθμισης για> 10 έως 100% FS και ± 0,2% FS για 2 έως 10% FS σε πιέσεις εισόδου> 20 Torr | |
| Επαναληψιμότητα | 0,2% FS | |
| Ανάλυση | 0,1% της ανάγνωσης | |
Θερμοκρασία Συντελεστές | Μηδέν | ± 0,08% FS / ° C |
| Σπιθαμή | ± 0,08% Rdg / ° C | |
Χρόνος διακανονισμού ελεγκτή (ανά ημιευθυνη E17-0600) | <2> τυπικό άνω του 10% της FS στις πιέσεις εισόδου> 10 Torr | |
Ωρα για προθέρμανση (έως το 0,2% των επιδόσεων σταθερής κατάστασης FS ) | <30> | |
| Κανονική θερμοκρασία λειτουργίας | 10 έως 50 ° C | |
| Υγρασία αποθήκευσης | 0 έως 95% σχετική υγρασία, χωρίς συμπύκνωση | |
| Θερμοκρασία αποθήκευσης | -20 έως 65 ° C | |
| Οθόνη θερμοκρασίας | 0 έως 100 ° C | |
| Μονάδες ανάγνωσης θερμοκρασίας | ΝΤΟ | |
| Ακρίβεια θερμοκρασίας | ± 2 ° C | |
| Ανάλυση θερμοκρασίας | 0,1 ° C | |
| Μηχανικός | ||
| Εξαρτήματα | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Απεικόνιση | 4 ψηφία για την τιμή, 4 χαρακτήρες για τη μονάδα | |
| Ακεραιότητα διαρροών | Εξωτερική (scc / sec He) | <1x10> |
| Μέσω κλειστής βαλβίδας | <1,0% fs="" σε="" 25="" psig="" σε=""> | |
Υγρό Υλικά Πρότυπο | 316 SS VAR (ισοδύναμο με 316 SS SCQ για ποιότητα ημιαγωγών), 316 SS, Elgiloy, ΚΜ-45, NiTi | |
| Επιφανειακή φινίρισμα | 5 μικροκλίμα μέσου Ra | |
| Βάρος | Λιγότερο από 2 λίβρες. (0,9 kg) | |
| Ηλεκτρικός | ||
| Συνδέσεις | Αναλογικό (ισχύ & I / O) | 9 ακίδων D αρσενικών ή 15 ακίδων D αρσενικών |
| Διαγνωστικά | Ethernet | |
| Τάση εισόδου | 15-24 VDC ± 5% VDC @ 350mA κορυφή, σταθερή κατάσταση 250 mA | |
| Εντολή εντολής σημείου ρύθμισης | 0 έως 5 VDC | |
| Σήμα εξόδου | 0 έως 5 VDC | |
Δημοφιλείς Ετικέτες: ρυθμιστής ροής μάζας χαμηλής πίεσης pmfc - pfc-20, Κίνα, κατασκευαστές, προμηθευτές, αγοράζουν, εξατομικευμένοι, γίνονται στην Κίνα
