Εξοπλισμός επίστρωσης με εξώθηση ηλεκτρονίων
Μηχανή οπτικής επίστρωσης EB PVD, εφαρμογές: Γυαλιά οράσεως, ανακλαστικός καθρέπτης, πλάκα κινητού τηλεφώνου, προστατευτικό κάλυμμα, οπτική επικοινωνία, οπτική οθόνη κ.λπ.
- Εισαγωγή προϊόντος
IKS-OPT2700 Ηλεκτρονική συσκευή οπτικής επικάλυψης με ακτίνες λέιζερ
μεγάλο Εφαρμογές:
Γυαλιά οράσεως, ανακλαστήρα, καθρέπτης κινητού τηλεφώνου, προστατευτικό κάλυμμα, οπτική επικοινωνία, οπτική απεικόνιση κ.λπ.
μεγάλο Εξοπλισμός Σύντομη
Το IKS-OPT2700 έχει σχεδιαστεί για επίστρωση οπτικών μεμβρανών μεγάλης επιφάνειας, είναι μηχανή εξάτμισης με δέσμη ηλεκτρονίων. Το σύστημα μηχανής επίστρωσης αποτελείται από θάλαμο κενού, αντλία κενού, ανίχνευση και έλεγχο κενού, σύστημα θέρμανσης υποστρώματος, σύστημα εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, σύστημα υποβοηθούμενης εναπόθεσης ιόντων, σύστημα εξάτμισης αντίσταση, σύστημα παρακολούθησης πάχους μεμβράνης, σύστημα περιστροφής κοπής και αυτόματη επικάλυψη που ελέγχεται από το PLC.
Το υλικό εξάτμισης χρησιμοποιείται συνήθως από σπάνια μέταλλα, όπως φθοριούχο ύτριο, φθοριούχο πρασεοδύμιο, γερμάνιο, σουλφίδιο ψευδαργύρου, φθοριούχο μαγνήσιο, διοξείδιο τιτανίου, διοξείδιο πυριτίου, ζιρκόνια, κοβάλτιο, γάλλιο, σελήνιο και άλλα μέταλλα. Ο χαλκός, το μολυβδαίνιο, το πυρίτιο, το γερμάνιο και άλλα μέταλλα χρησιμοποιούνται συνήθως στα οπτικά υλικά των ανακλαστήρων.
Μπορεί να επικαλύψει το φιλμ ορατού φωτός, το φιλμ αντανάκλασης αλουμινίου, την μεμβράνη αντι-δακτυλικών αποτυπωμάτων AF, την οργανική μεμβράνη χαμηλού σημείου τήξης, τη φασματοσκοπική μεμβράνη ορατού φωτός,
μεγάλο Χαρακτηριστικά εξοπλισμού
IKS-OPT2700 σύστημα οπτικής επίστρωσης μεγάλης επιφάνειας, με χρήση δομής κενού ανασχεδιασμού κενού, καινοτόμο σχεδιασμό κρυογονικής αντλίας, σταθερού σχεδιασμού περιστρεφόμενου πλαισίου εργασίας, προηγμένου συστήματος εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, ρυθμιζόμενης ρύθμισης ομοιομορφίας και εξανθρωπισμένου ελέγχου της διαδικασίας αυτόματης επικάλυψης ένα σταθερό περιβάλλον επεξεργασίας κενού, που έχει λάβει την καλύτερη διαδικασία επίστρωσης, πήρε υψηλής ποιότητας επικαλυμμένα προϊόντα.
1. Μέγεθος θαλάμου · Φ2700 × Η1670 | 8. χώρος δαπέδου: L6 × w5.5 × H3.5m |
2. Βαθμός κενού: τελικό κενό: 6 × 10 -4 Pa ( χωρίς φορτίο για 24 ώρες χωρίς θέρμανση ) | 9.Βάρος: 8000kg, Βάρος δαπέδου > 1000kg / m2 |
3. Ρυθμός διαρροής: 4 × 10 -3 Pa × L / S (Έλεγχος διαρροής του ηλίου) | 10. Θερμοκρασία: Σε θερμοκρασία δωματίου έως 250 ℃ , η ομοιομορφία θερμοκρασίας ± 5% |
4. Vacuum εργασίας: 6 × 10 -3 Pa ( Αυτόματη έναρξη λειτουργίας ) | 11. Τροφοδοσία ισχύος: Τριφασική, 380V , 50Hz , 60-100KW |
12. Ψύξη νερού: ροή θαλάμου > 4000L / H , ροή αντλίας > 1800L / H, ψυκτικός συμπιεστής > 1600L / H | |
6. Υψηλό κενό: 6 λεπτά 8 × 10 -3 Pa | 13. Ζεστό νερό: Πηγή εξάτμισης1800L / H, 35-60 ℃ |
7. Μέτρηση κενού: Παρακολούθηση ολόκληρης της διαδικασίας και συλλογή σημείων σε πραγματικό χρόνο |
μεγάλο Τεχνικές παράμετροι
Παρακολούθηση πάχους φιλμ
| 1.PLC ολοκληρωμένο έλεγχο 2. λεπτή απόθεση φιλμ, 0.01nm / s 3. Ταχεία ώριμη αντίστοιχη, σύνδεση με το ηλεκτρονικό όπλο |
Έλεγχος ροής | Εύρος ελέγχου: 3 ~ 100sccm , 5-500sccm, ακριβής σύνδεση με πηγή ιόντων, σύγχρονο έλεγχο, έλεγχος ροής, Σταθερή παραγωγή, σταθερή ενέργεια ιόντων είναι σταθερή |
Πηγή δέσμης E | Τύπος: 10KW, εκτροπή 270 μοιρών. Έγχυση μικρότερη από 0,5%, ακριβές σχήμα και μέγεθος σημείου ελέγχου, σταθερότητα λειτουργίας συστήματος ελέγχου και υψηλή ακρίβεια. Τύπος όπλου: νήμα βολφραμίου, ανθεκτικό είδος |
Πηγή εξάτμισης αντίστασης | Τύπος: Η βάρκα βολφραμίου εξατμίζεται με θέρμανση. Ποσότητα: Δύο ηλεκτρόδια, επιλέξτε την εγκατάσταση. Κατάλληλο για ειδική διαδικασία επίστρωσης, στοχεύει στα υλικά λειτουργίας ή στα μεταλλικά υλικά για να επιτευχθεί η λειτουργία της εξάτμισης |
Ιονική πηγή | Τύπος: 4KW πηγή ιόντων Hall , μεγάλη δέσμη, ευρεία γωνία απόκλισης, αποσπώμενη άνοδος, συντήρηση και καθαρισμός είναι πολύ απλή |
Σύστημα ελέγχου | Διεπαφή υπολογιστή: 17 ιντσών, 1 σετ. Οθόνη αφής TP: 15 omcjes.1set. Κύριο σύστημα: Αυτόματος προγραμματιζόμενος λογικός έλεγχος IKS. Αυτόματο σύστημα ελέγχου διαδικασιών που αναπτύχθηκε από την IKS PVD, Πρόκειται για ένα έξυπνο λειτουργικό σύστημα για την καταγραφή των διαδικασιών σε πραγματικό χρόνο και την ανατροφοδότηση των σφαλμάτων. Ολοκληρωμένη ενσωμάτωση, εξανθρωπισμένος σχεδιασμός και ικανοποίηση των εξατομικευμένων αναγκών , για την ασφαλή και έξυπνη σχεδίαση του λειτουργικού συστήματος. έλεγχο της λειτουργίας. |
Ασφαλής σχεδίαση | Κύριος διακόπτης προστασίας κυκλώματος, προστασία γείωσης, μη κανονικός συναγερμός, λειτουργία παρακολούθησης σε πραγματικό χρόνο |
μεγάλο Υπεροχή προϊόντος
Τεχνολογική καινοτομία
1. Λογική ενσωμάτωση των προϊόντων και τα αποτελέσματα της τεχνολογικής καινοτομίας, βελτίωση του περιβάλλοντος της διαδικασίας, για την επίτευξη σταθερής λειτουργίας του συστήματος επίστρωσης!
2. Η καινοτομία σχεδίασης δομής προϊόντος είναι λογική, σταθερή, συνοπτική, η συντήρηση είναι βολική! (σχεδιασμός θέσης χρήστη!)
3. Ανάπτυξη καινοτομίας λειτουργίας και λειτουργικού συστήματος, απλή λειτουργία, αποτελεσματική και πρακτική!
4. Προϊόντα και τεχνολογία επεξεργασίας για την επίτευξη υψηλής ποιότητας επίστρωση διαδικασία, τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας, ομοιομορφία, εξαιρετική επαναληψιμότητα!
5. Επίτευξη ευφυούς ελέγχου της λειτουργίας του συστήματος επικάλυψης!
6. Βελτιστοποίηση συστήματος ασφαλείας, προτροπή σφάλματος, λεπτομερή λύση λύσης!
7. Υψηλή αποδοτικότητα, παραγωγή και μείωση του κόστους διαχείρισης!
Τεχνολογικό χαρακτηριστικό
1. Σχεδιασμός προϊόντων, με την τέλεια τεχνολογία IKS και την απόδοση των προϊόντων χωρίς ομαλή ολοκλήρωση σύνδεσης, για τη δημιουργία αξιόπιστων, σταθερών
Σταθερό, ασφαλές, έξυπνο σύστημα επίστρωσης!
2. Απόκτηση κενού, εκ νέου βελτιστοποιημένη σχεδίαση του συστήματος απόκτησης κενού, για να καλύψει το γρήγορο και σταθερό περιβάλλον κενού!
3. Πηγή εξάτμισης και πηγή ιόντων, λογική διάταξη και υψηλής ποιότητας τεχνολογία επεξεργασίας, τεχνολογία τεκμηρίωσης, για την επίτευξη της διαδικασίας
Διαδικασία αυτόματης ρύθμισης, δομή ηλεκτρονικής δομής και ακριβής εγγύηση ποσοστού εγγύηση υλικού απόθεση πιο ακριβή και σταθερή!
4. Αυτόματο σύστημα ελέγχου λειτουργίας, η νέα ανάπτυξη ακριβούς και σταθερού συστήματος! Απλή ρύθμιση, εύκολη λειτουργία!
Επικαλυμμένο προϊόν
Δημοφιλείς Ετικέτες: Εξοπλισμός επικάλυψης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, Κίνα, κατασκευαστές, προμηθευτές, αγοράζουν, προσαρμοσμένες, γίνονται στην Κίνα
