Bias σύντομη εισαγωγή

Αρνητική προκατάληψη

Παροχή ενέργειας σωματιδίων.

Εφέ θέρμανσης στο υπόστρωμα.

Η αφαίρεση του αερίου και του ελαίου που προσροφάται στο υπόστρωμα μπορεί να βελτιώσει την αντοχή συγκόλλησης του στρώματος μεμβράνης.

Ενεργοποιημένη επιφάνεια μήτρας.

Η επικάλυψη με ρεύμα ιονισμού (Arc Ion Coating) τα μεγάλα σωματίδια έχουν αποτέλεσμα καθαρισμού.

Ταξινόμηση της μεροληψίας

Σύμφωνα με την κυματομορφή, μπορεί να χωριστεί σε:

DC προκατάληψη

Dc παλμός προκατάληψη

Απόρριψη παλμών Dc στοίβας

Διπολική παλμική απόκλιση

Αλλάξτε την υψηλή τάση / χαμηλή τάση όταν χρησιμοποιείται η τροφοδοσία

Πολλές προκατειλημμένες πηγές τροφοδοσίας χρειάζονται εναλλαγή μεταξύ υψηλής και χαμηλής τάσης κατά την εργασία, τα εργαλεία υψηλής πίεσης χρησιμοποιούνται για βομβαρδισμούς και καθαρισμό και χρησιμοποιούνται γρανάζια χαμηλής πίεσης για την εναπόθεση ταινιών. Το διάγραμμα συντεταγμένων εξόδου των δύο τύπων τροφοδοτικών περιγράφεται παρακάτω:

Το διάγραμμα εξόδου ισχύος υψηλής τάσης (HV) και χαμηλής τάσης (LV) πρέπει να αλλάξει

Δεν χρειάζεται να αλλάζετε τη συνεχή ρύθμιση συνεχούς ρύθμισης υψηλής χαμηλής ταχύτητας

Ρυθμιζόμενη παράμετρος τροφοδοσίας τάσης

Ευρύχωμα πλάτους

Δανειακός λόγος

συχνότητα

κυματομορφή

Σημαντικά χαρακτηριστικά μιας τροφοδοτικής τάσης

Αριθμός πυροσβεστικών πυροσβεστήρων ανά λεπτό (σε μονάδες πυροσβεστικών πυροσβεστήρων ανά λεπτό)

Ευαισθησία για ανίχνευση μεγάλου τόξου (ανιχνεύσιμη ενέργεια τόξου mJ / kW)

Χαρακτηριστικά φόρτισης της μεροληψίας

Το φορτίο εργασίας της προκατάληψης είναι το πλάσμα. Όταν χρησιμοποιείται προκατάληψη DC, το πλάσμα εμφανίζει αντίσταση. Όταν εφαρμόζεται η παλμική απόκλιση, το πλάσμα παρουσιάζει αντίσταση + χωρητικότητα, η οποία μπορεί να θεωρηθεί ως σύνδεση σειράς αντίστασης και χωρητικότητας. Η φύση της δημιουργίας της χωρητικότητας προκαλείται από τη θήκη πλάσματος στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Σύγκριση απόκλισης κυκλώματος και απόκλισης παλμού

Η συμβατική επίστρωση με ιονό τόξου είναι να ελέγχει την ενέργεια βομβαρδισμού ιόντων εφαρμόζοντας dc αρνητική προκατάληψη στο υπόστρωμα. Αυτή η διαδικασία εναπόθεσης έχει τα ακόλουθα μειονεκτήματα:

Η υψηλή θερμοκρασία της μήτρας δεν ευνοεί την εναπόθεση σκληρού φιλμ στο υπόστρωμα με χαμηλή θερμοκρασία θερμικής κατεργασίας.

Ο βομβαρδισμός ιόντων υψηλής ενέργειας δεν μπορεί εύκολα να συνθέσει μεμβράνες κατωφλίου υψηλής δραστικότητας αυξάνοντας την ενέργεια βομβαρδισμού ιόντων.

Για να αποφευχθεί ο συνεχής βομβαρδισμός από το ιόν της επιφάνειας του υποστρώματος που προκαλείται από τη θερμοκρασία του υποστρώματος είναι υπερβολικός, κυρίως για να μειωθεί η ιζηματογενής ισχύς, να μειωθεί ο χρόνος, ΧΡΗΣΙΜΟΠΟΙΕΙΤΑΙ η μέθοδος της διαλείπουσας εναπόθεσης για να μειωθεί η θερμοκρασία εναπόθεσης, αυτά τα μέτρα μπορούν γενικά να ονομάζονται ενεργειακοί έλεγχοι "παρότι αυτή η μέθοδος μπορεί να μειώσει τη θερμοκρασία εναπόθεσης, αλλά και να επιφέρει κάποιες επιδόσεις της μεμβράνης αλλά επίσης να μειώσει την παραγωγική αποτελεσματικότητα και τη σταθερότητα της ποιότητας του φιλμ, ως εκ τούτου δυσχερής στη διάδοση και εφαρμογή.

Η διαδικασία επιμετάλλωσης με παλμική πάθηση με ιοντικό τόξο, λόγω της επιφάνειας υποστρώματος βομβαρδισμού ιόντων, είναι ασυνεχής τρόπος παλμών, ρυθμίζοντας έτσι τη σχέση φόρτισης της παλμού, μπορεί να αλλάξει τη μήτρα μεταξύ της εσωτερικής και της επιφανειακής κλίσης της θερμοκρασίας και στη συνέχεια να αλλάξει τη μήτρα μεταξύ εσωτερικής και επιφανειακή θερμοστατική ισοστατική αντιστάθμιση, επιτυγχάνουν τον σκοπό της ρύθμισης της θερμοκρασίας απόθεσης. Με αυτόν τον τρόπο, το ύψος του προκατειλημμένου παλμού μπορεί να ρυθμιστεί ξεχωριστά από τη θερμοκρασία του τεμαχίου (με μικρή ή καθόλου επίδραση η μία στην άλλη), το φαινόμενο βομβαρδισμού ιόντων υψηλής ενέργειας μπορεί να επιτευχθεί με παλμό υψηλής πίεσης για τη βελτίωση της δομής και της απόδοσης η μεμβράνη και η συνολική επίδραση θέρμανσης του βομβαρδισμού με ιόντα μπορούν να μειωθούν με μείωση του λόγου καθήκοντος για τη μείωση της θερμοκρασίας απόθεσης.

Η επίδραση της μεροληψίας στο στρώμα της μεμβράνης

Οι επιπτώσεις στο μηχανισμό στρώσης μεμβράνης είναι πολύ περίπλοκες, πολλές εταιρείες και ερευνητικά ιδρύματα έχουν κάνει πολλές έρευνες, με διαφορετική στρώση μεμβράνης και διαφορετικό εξοπλισμό, επηρεάζουν τον τρόπο και τα αποτελέσματα είναι αρκετά διαφορετικά, τα ακόλουθα είναι μια λίστα με μερικές από τις σημαντικότερες αντίκτυπο, μπορεί να χρησιμοποιηθεί σύμφωνα με τη δική τους διαδικασία, παρατήρηση, μπορεί γρήγορα να καταλάβει τις επιπτώσεις της προκατάληψης στο στρώμα μεμβράνης.

Δομή μεμβράνης, προσανατολισμός κρυσταλλικής δομής και δομή ιστών

Ποσοστό απόθεσης

Μεγάλος καθαρισμός σωματιδίων

Σκληρότητα της μεμβράνης

Πυκνότητα φιλμ

Επιφανειακή μορφολογία

Εσωτερική πίεση

Το IKS PVD προσαρμόζει την κατάλληλη μηχανή επικάλυψης κενού PVD για εσάς, επικοινωνήστε μαζί μας τώρα, iks.pvd@foxmail.com