Η ουσιαστική εξήγηση για το κενό

Η ουσιαστική εξήγηση για το κενό

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. Ορισμός του κενού

Ένα σύστημα κενού είναι ένας λεπτός όγκος αερίου κάτω από την ατμοσφαιρική πίεση στην περιοχή.

2. Βαθμός κενού

Ο βαθμός λεπτότητας σε ένα κενό εκφράζεται συνήθως ως "υψηλό κενό" και "χαμηλό κενό". Ένα υψηλό κενό σημαίνει καλό, και ένα χαμηλό κενό σημαίνει φτωχό.

3. Μονάδα κενού

Συνήθως το Torr χρησιμοποιείται ως μονάδα και το Pa χρησιμοποιείται διεθνώς τα τελευταία χρόνια.

1 κάτοχος = 1/760 ατμόσφαιρα = 1 χιλιοστό του υδραργύρου

4. Μεταφορά μεταξύ Tod και pa

1 παλέτα = 133.322 παλέτες ή 1 παλέτα = 7.5 φορές 10-3 παλέτες

5. Μέση ελεύθερη διαδρομή

Η μέση απόσταση που διέρχεται από δύο διαδοχικές συγκρούσεις σωματιδίων αερίου σε ακανόνιστη θερμική κίνηση δηλώνεται με το σύμβολο "αναχώρηση".

6. ροή

Η ποσότητα του αερίου που ρέει μέσω οποιουδήποτε τμήματος σε χρόνο μονάδας, εκφραζόμενη ως "Q", σε μονάδες Pa · L / s (Pa · L / s) ή Torr · L / s (Torr · L / s).

7. Οδηγός ροής

Είναι η δυνατότητα μιας γραμμής σωλήνα κενού να περάσει από ένα αέριο. Η μονάδα είναι λίτρα ανά δευτερόλεπτο (L / s) και σε σταθερή κατάσταση η ροή του σωλήνα είναι ίση με τη ροή του σωλήνα διαιρούμενη με τη διαφορά πίεσης μεταξύ των δύο άκρων του σωλήνα. Το σύμβολο ονομάζεται U.

U = Q / (Ρ2, Ρ1)

8. Πίεση ή πίεση

Η δύναμη που εφαρμόζεται από ένα μόριο αερίου ανά μονάδα επιφανείας του τοιχώματος του δοχείου εκφράζεται ως Ρ.

9. Πρότυπη ατμοσφαιρική πίεση

Πίεση των 101325 dain ανά τετραγωνικό εκατοστό, σύμβολο: (Atm).

10. Το τελικό κενό

Αφού αντληθεί πλήρως το δοχείο κενού, σταθεροποιείται σε ένα ορισμένο βαθμό κενού, το οποίο ονομάζεται τελικό κενό. Συνήθως, το δοχείο κενού πρέπει να υποβληθεί σε διύλιση αέρα για 12 ώρες και έπειτα να κενωθεί για 12 ώρες. Η τελευταία ώρα μετράται κάθε 10 λεπτά. Η μέση τιμή 10 φορές λαμβάνεται ως η τιμή του ορίου του κενού.

11. Ποσοστό άντλησης

Σε μια ορισμένη πίεση και θερμοκρασία, το αέριο που αντλείται από την είσοδο της αντλίας σε χρόνο μονάδας ονομάζεται ρυθμός άντλησης ή ρυθμός άντλησης. Sp = Q / (ρ-ρο).

12. Μετρητής κενού θερμοστοιχείου

Ένας μετρητής κενού που χρησιμοποιείται για τη μέτρηση του βαθμού κενού χρησιμοποιώντας το ηλεκτρικό δυναμικό του θερμοηλεκτρικού κυκλώματος σε σχέση με τη θερμοκρασία του θερμαντικού στοιχείου και τη θερμοκρασία του στοιχείου σε σχέση με τη θερμική αγωγιμότητα του αερίου.

13. Μετρητής κενού ιονισμού (μετρητής ιονισμού θερμής καθόδου)

Αποτελείται από ένα σωληνωτό πόλο συλλέκτη, ένα πλέγμα και ένα νήμα που βρίσκεται στο κέντρο του πλέγματος. Ο σωληνωτός πόλος του συλλέκτη βρίσκεται έξω από το πλέγμα. Τα μόρια ιονισμένου αερίου με εκπομπή ηλεκτρονίων καυτής καθόδου συλλέγονται από τον συλλέκτη, σύμφωνα με το μέγεθος ρέοντος ρεύματος που συλλέγεται για τη μέτρηση της πίεσης του αερίου του μετρητή κενού.

14. Σύνθετο μετρητή κενού

Αποτελείται από ένα μετρητή κενού θερμοστοιχείου και ένα μετρητή κενού ιονισμού ζεστού-καθόδου, το εύρος μέτρησης είναι ~ 10-5pa.

15. Μετρητής ιονισμού κρύου καθόδου

Υπάρχει ένα ζεύγος φύλλων καθόδου και στα δύο άκρα του σωλήνα ανόδου, υπό την επίδραση εξωτερικού μαγνητικού πεδίου, σχηματίζεται εκφόρτιση εντός του σωλήνα ανόδου για την παραγωγή ιόντων και ο μετρητής κενού της πίεσης αερίου προσδιορίζεται σύμφωνα με το μέγεθος του ιόντος ροή που συλλέγεται από την πλάκα καθόδου.

16. Μετρητής υποπίεσης αντίστασης

Ένας μετρητής κενού που μετρά τον βαθμό κενού μέσω ενός κυκλώματος γέφυρας, χρησιμοποιώντας την αρχή ότι η αντίσταση του θερμαντικού στοιχείου σχετίζεται με τη θερμοκρασία και η θερμοκρασία του στοιχείου σχετίζεται με τη διοχέτευση αερίου.

17. μετρητής κενού McLeod (συμπιεσμένο μετρητή κενού)

Το προς μέτρηση αέριο συμπιέζεται σε πολύ μικρό όγκο με υδράργυρο (ή έλαιο) και στη συνέχεια συγκρίνεται με τη διαφορά υγρής στήλης μεταξύ ανοικτού και κλειστού σωλήνα.

18 και Β - Ένας μετρητής

Πρόκειται για ένα ζεστό κάτοπτρο ιονισμού με αναστροφή συλλέκτη. Το ηλεκτρόδιο συλλέκτη είναι ένα νήμα, τοποθετημένο στο κέντρο του πλέγματος, και το νήμα είναι τοποθετημένο έξω από το πλέγμα, μειώνοντας έτσι την πρόσκρουση των μαλακών ακτίνων Χ.

19. Αντλία κενού νερού δακτυλίου

Η πτερωτή της αντλίας περιστρέφεται για να παράγει ένα δακτύλιο νερού. Είναι μια μηχανική αντλία κενού, αντλεί αέρα λόγω της περιοδικής αλλαγής της έντασης μεταξύ του δακτυλίου νερού και της λεπίδας λόγω της περιστροφής εκκεντρικότητας του ρότορα.

20. Παλινδρομική αντλία κενού

Είναι μια μηχανική αντλία κενού, αντλεί αέρα από την παλινδρομική κίνηση του εμβόλου.

21. Μηχανική αντλία κενού σφραγίσεως λαδιού

Μηχανική αντλία κενού με λάδι για τη διατήρηση της σφραγίδας μπορεί να χωριστεί σε σταθερό τύπο, περιστροφικό τύπο, ολισθαίνουσα τύπου βαλβίδα, trochoidal τύπου και ούτω καθεξής.

22. Αντλία κενού ρίζας

Η μηχανική αντλία κενού με ζεύγος σύγχρονων δρομέων περιστρεφόμενων υποδημάτων υψηλής ταχύτητας, αυτή η αντλία δεν μπορεί να αντληθεί ξεχωριστά, η σφραγίδα λαδιού, ο δακτύλιος νερού και άλλες αντλίες κενού μπορούν να εξαντλήσουν απευθείας την ατμόσφαιρα.

23. Αντλία στροβιλο-μοριακού κενού

Υπάρχει ένα περιστρεφόμενο στροφείο υψηλής ταχύτητας. Όταν τα μόρια αερίου συγκρούονται με την περιστροφική περιστρεφόμενη λεπίδα στροβίλου, οδηγούνται στην έξοδο και στη συνέχεια αφαιρούνται από την μπροστινή αντλία.

24. Αντλία κενού διάχυσης πετρελαίου

Ένα ρεύμα ατμού υψηλής ταχύτητας εκτοξεύεται από το ακροφύσιο της αντλίας διάχυσης. Υπό την κατάσταση της μοριακής ροής, τα μόρια αερίου διαχέονται συνεχώς στη ροή του ατμού και συμπιέζονται από τον ιμάντα ατμού στην έξοδο του σταδίου της αντλίας κατά βήμα και στη συνέχεια αποκλείονται από την προηγούμενη αντλία.

25. Αντλία κενού χαμηλής θερμοκρασίας

Η αντλία κενού χρησιμοποιήθηκε για να συμπυκνώσει το αέριο προσρόφησης στην επιφάνεια χαμηλής θερμοκρασίας κάτω από 20K.

26. Ψυχρή παγίδα (διάφραγμα νερού)

Μια συσκευή τοποθετημένη μεταξύ ενός δοχείου κενού και μιας αντλίας για να απορροφήσει αέριο ή να συλλάβει ατμούς πετρελαίου.

27. Βαλβίδα έρματος αέρα

Μηχανική αντλία κενού πετρελαίου σφραγίδα στο θάλαμο συμπίεσης για να ανοίξει μια μικρή τρύπα, και να τεθεί στο ρυθμιστή, και να ρυθμίσετε την ένταση όταν ανοίγει τη βαλβίδα, ο ρότορας σε μια συγκεκριμένη θέση, πέρασε αυτή την τρύπα με θάλαμο πεπιεσμένου αέρα για να μειώσει τη σχέση συμπίεσης, προκειμένου να αξιοποιηθεί στο έπακρο ο ατμός συμπυκνώνεται από το κλείδωμα της αντλίας με αναμεμειγμένο αέριο στο ρόλο της βαλβίδας ονομάζεται βαλβίδα έρματος αερίου.

28. Ξήρανση με ψύξη υπό κενό

Η ξήρανση με ψύξη με κενό, επίσης γνωστή ως ξήρανση εξάχνωσης. Η ιδέα είναι να παγώσει το υλικό έτσι ώστε το νερό που περιέχει να μετατραπεί σε πάγο, στη συνέχεια να εξαγνιστεί ο πάγος σε κενό για να στεγνώσει.

29. Εξάτμιση κενού

Σε περιβάλλον κενού, η θέρμανση και η επικάλυψη του υλικού πάνω στο υπόστρωμα ονομάζεται εξάτμιση κενού ή επικάλυψη κενού.

30. Ξήρανση με κενό

Είναι μια μέθοδος στεγνώματος αντικειμένων χρησιμοποιώντας το χαμηλό σημείο βρασμού σε περιβάλλον κενού.

31. Κοινή ονομασία για το σύστημα κενού

(1) κύρια αντλία: στο σύστημα κενού, η αντλία κενού που χρησιμοποιείται για την επίτευξη του απαιτούμενου βαθμού κενού για την κάλυψη των ειδικών απαιτήσεων διεργασίας, όπως η αντλία διάχυσης λαδιού στη μηχανή επικάλυψης κενού είναι η κύρια αντλία.

(2) αντλία εμπρόσθιου σταδίου: η αντλία κενού που χρησιμοποιείται για τη διατήρηση της πίεσης μιας αντλίας κενού στο μπροστινό στάδιο κάτω από το κρίσιμο εμπρόσθιο στάδιο. Μια περιστροφική βαλβίδα ή μια αντλία βαλβίδας ολίσθησης, όπως στην περίπτωση μιας αντλίας ριζών, είναι μια προγεμισμένη αντλία.

(3) ακατέργαστη αντλία: η αντλία κενού που αρχίζει να αντλεί αέρα υπό ατμοσφαιρική πίεση και στη συνέχεια αντλεί την πίεση του συστήματος σε άλλη αντλία κενού για να αρχίσει να λειτουργεί. Όπως η μηχανή επικάλυψης κενού στην αντλία με ολισθαίνουσα βαλβίδα, είναι η χοντρή αντλία λαδιού.

(4) αντλία συντήρησης: στο σύστημα κενού ο όγκος του αέρα είναι πολύ μικρός και η μπροστινή αντλία δεν μπορεί να χρησιμοποιηθεί αποτελεσματικά. Για το σκοπό αυτό, μια μικρή χωρητικότητα της βοηθητικής αντλίας για τη διατήρηση της κύριας αντλίας, αυτή η αντλία ονομάζεται αντλία συντήρησης. Εάν υπάρχει μια μικρή περιστροφική αντλία με πτερύγια στην έξοδο της αντλίας διάχυσης, είναι η αντλία συντήρησης.