Η σύνθεση της μηχανής επικάλυψης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων

Η σύνθεση της μηχανής επικάλυψης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων

Το μηχάνημα επίστρωσης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων αποτελείται κυρίως από σύστημα ελέγχου, σύστημα πραγματικής διαδρομής αέρα και σύστημα πυροβόλων ηλεκτρονίων. 1. Υπάρχουν δύο αντλίες στη διαδρομή αέρα κενού της πραγματικής διαδρομής αέρα της μηχανής επίστρωσης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, δηλαδή η μηχανική αντλία εμπρόσθιου σταδίου και η κρυογονική αντλία υψηλής κενού, μεταξύ των οποίων η λειτουργία της κρυογονικής αντλίας είναι κυρίως μέσω της πολύ χαμηλής θερμοκρασίας, σύμφωνα με στην αρχική προσρόφηση της κρύας ομπρέλας για να επιτευχθεί ο σκοπός του κενού. Κατά τη διαδικασία εκκίνησης της αντλίας υψηλού κενού σε χαμηλή θερμοκρασία, το επίπεδο της μηχανικής αντλίας θα είναι πριν από τον αγωγό σε κατάσταση κενού, όταν ο αγωγός κενού φτάσει σε κάποιο βαθμό, θα ανοίξει ευοίωνη βαλβίδα, αυτό το επίπεδο πριν συνεχιστεί η μηχανική αντλία για να δουλέψετε, να φτιάξετε το σωλήνα και η αντλία χαμηλής θερμοκρασίας να έχει κατάσταση κενού, τότε, μια βαλβίδα πρώην σταδίου επαναλάμβανε τα παραπάνω βήματα. {{2}}. Θέρμανση και εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων Η πηγή εξάτμισης της δέσμης ηλεκτρονίων αποτελείται κυρίως από όπλο ηλεκτρονίων και χωνευτήρια. Εάν είναι απαραίτητο, μπορεί να επισυνάπτεται ένα σύνολο μηχανολογικού εξοπλισμού που μπορεί να παρέχει πρώτες ύλες για τη μηχανή επικάλυψης. Στις περισσότερες περιπτώσεις, η συσκευή ελέγχου που παράγει και ελέγχει τη δέσμη ηλεκτρονίων και τον σχεδιασμό του χωνευτηρίου θα ενσωματωθεί στη μηχανή επικάλυψης. Ακολουθούν διάφορες δομές των πηγών θέρμανσης και εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων. Ο εξατμιστής θερμαίνεται με γραμμική κάθοδο και ηλεκτροστατική εστίαση. (2) ο εξατμιστής θερμαίνεται με δακτυλιοειδή κάθοδο και ηλεκτροστατική εστίαση. Ο εξατμιστήρας θερμαίνεται με αξονικό πιστόλι και ηλεκτροστατική εστίαση από απόσταση. Ο εξατμιστής θερμαίνεται με αξονικό πιστόλι, μαγνητική εστίαση και μαγνητική εκτροπή 90 μοίρες. Εξατμιστής πιστολιού τύπου E, πηγή εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων τύπου Ε που εκπέμπεται από την τροχιά ηλεκτρονίων είναι παρόμοια με την 0010010 quot; E 0010010 quot; λέξη, οπότε αναφέρεται ως Ε όπλο. Προς το παρόν, αυτή η μορφή πηγής εξάτμισης χρησιμοποιείται ευρύτερα στη διαδικασία εξάτμισης κενού και επικάλυψης.

IKS-OPT 2700 οπτική μηχανή επικάλυψης κενού E-gun，περισσότερες λεπτομέρειες, επικοινωνήστε:iks.pvd@foxmail.com