Για τον υπολογισμό του δείκτη διάθλασης και του συντελεστή απόσβεσης της ταινίας TiO 2 με βάση τη μέθοδο φακέλου

Για τον υπολογισμό του δείκτη διάθλασης και του συντελεστή απόσβεσης της ταινίας TiO 2 με βάση τη μέθοδο φακέλου, ο συντελεστής απορρόφησης του υλικού δεν πρέπει να είναι πολύ μεγάλος, διαφορετικά θα επηρεάσει την τελική μετάδοση του προϊόντος φιλμ και θα μειώσει την οπτική απόδοση του προϊόντος · Ταυτόχρονα, ο δείκτης διάθλασης δεν πρέπει να είναι πολύ χαμηλός, διαφορετικά θα επηρεαστεί το πλάτος της ζώνης αποκοπής. Προτεινόμενη από τη Manifacier στο 1976, η μέθοδος baoluo line είναι ο υπολογισμός των παραμέτρων οπτικής μεμβράνης του στρώματος φιλμ αναστρέφοντας την ακραία τιμή μετάδοσης (ή ανάκλασης) στο οπτικό πάχος του στρώματος φιλμ σε ακέραια πολλαπλάσια λάμδα / { {3}}. Στην πραγματική μέτρηση, το μέγιστο σημείο T / 2 και το ελάχιστο σημείο μετάδοσης T / 4 συνδέονται για να σχηματίσουν δύο γραμμές φακέλου, Tmax () και Tmin (). Στη συνέχεια, η ακραία μετάδοση T / 2 και T / 4 σε οποιοδήποτε μήκος κύματος επιτυγχάνεται λαμβάνοντας σημεία στη γραμμή του φακέλου. Τέλος, ο συντελεστής απόσβεσης και ο δείκτης διάθλασης του στρώματος μεμβράνης υπολογίζονται χρησιμοποιώντας την ακραία τιμή μετάδοσης, και το πάχος του στρώματος φιλμ υπολογίζεται σύμφωνα με την υπολογισμένη τιμή του δείκτη διάθλασης και το μήκος κύματος του ακραίου σημείου.

Η διαδικασία μέτρησης της μεθόδου είναι απλή, η μέθοδος μπορεί ταυτόχρονα να μετρήσει τον δείκτη διάθλασης φιλμ, τον συντελεστή απόσβεσης και το πάχος της διαδικασίας μέτρησης δεν χρειάζεται να έρθει σε επαφή με τα δείγματα μεμβράνης, η προστασία του δείγματος, είναι ένα ιδανικό συγκρίνοντας όλα τα είδη μεθόδων των αποτελεσμάτων των δοκιμών εξοπλισμού, Εάν χρησιμοποιηθεί σωστά, μπορεί να είναι ένας τρόπος προσδιορισμού του φιλμ όλων των οπτικών σταθερών. Ο γραμμικός δείκτης διάθλασης n και το πάχος L του φιλμ στο μήκος κύματος υπολογίζονται χρησιμοποιώντας τη μέθοδο φακέλου.

Οπου:

0010010 nbsp; n0 και n 1 είναι ο δείκτης διάθλασης αέρα και βάσης αντίστοιχα. Tmax και Tmin είναι η μέγιστη και ελάχιστη μετάδοση στο μήκος κύματος. Τα λάμδα 1, λάμδα 2 και n (λάμδα 1), n (λάμδα 2) αντιστοιχούν στο μήκος κύματος και τον διαθλαστικό δείκτη δύο γειτονικών κορυφών ή κοιλάδων μετάδοσης καμπύλη, αντίστοιχα. Ο διαθλαστικός δείκτης και ο συντελεστής απόσβεσης της ταινίας TiO 2 υπολογίστηκαν χρησιμοποιώντας λογισμικό Macleod. Όπως φαίνεται από το σχήμα (α) παρακάτω, το φάσμα φάσματος είναι uv ορατό και σχεδόν υπέρυθρο και ο δείκτης διάθλασης όλων των 4 δειγμάτων μειώνεται. Ο διαθλαστικός δείκτης του δείγματος αριθ. 1 στη ζώνη των 400 ~ 1 000 nm κυμαίνεται μεταξύ 2. {{15}} ~ {{4 }}. 15. Ο δείκτης διάθλασης του δείγματος αριθ. 2 και του δείγματος αριθ. 3 ήταν ελαφρώς υψηλότερος, ενώ ο δείκτης αριθ. 4 ήταν ελαφρώς χαμηλότερος στο ίδιο μήκος κύματος, κυμαινόμενο από {{4} }. 45 έως 2. 15. 0010010 nbsp;

Από το παραπάνω σχήμα (β), φαίνεται ότι το δείγμα αριθ. 1 έχει προφανή απορρόφηση και ο συντελεστής απόσβεσης αυξάνεται με το φάσμα φάσματος από ορατό uv έως ορατό uv. Μπορεί να είναι γνωστό ότι παράγονται οξείδια χαμηλού κόστους από μέταλλο Ti, λόγω ανεπαρκούς παροχής οξυγόνου. Η μέγιστη εκπομπή δείγματος αριθ. 2 βελτιώθηκε σημαντικά και ο συντελεστής εξαφάνισης ήταν βασικά κάτω από {{5}}. 5×10-3, το οποίο είχε ακόμη αντίκτυπο στην τελική μετάδοση του φάσματος. Οι συντελεστές απόσβεσης των φασμάτων του αριθμού δείγματος 3 και του αριθμού δείγματος 4 είναι της τάξης των 10-4 και η επίδραση στην τελική μετάδοση των φασμάτων είναι βασικά αμελητέα. Όχι. 1 και όχι. 2 ο συντελεστής απόσβεσης του δείγματος με το μήκος κύματος αυξάνεται, τα άλλα δύο βασικά δεν ποικίλλουν με το μήκος κύματος ο συντελεστής απόσβεσης του δείγματος, υπό την κατάσταση του βαθμού κενού, όχι . 1 και όχι. 2 δείγματα με την αύξηση του μήκους κύματος και τον ρυθμό μετάδοσης μειώνεται, στο περιεχόμενο οξυγόνου είναι πολύ χαμηλό, σχηματίζεται μέταλλο Ti και ο συντελεστής απόσβεσης του Ti είναι σωστά αυξάνεται το μήκος κύματος.

Μέσω της σύγκρισης των τεσσάρων δειγμάτων, διαπιστώθηκε ότι με την αύξηση της ροής οξυγόνου, ο βαθμός κενού της επιμετάλλωσης μειώθηκε και η διάθλαση της μεμβράνης TiO 2 αυξήθηκε πρώτα και στη συνέχεια μειώθηκε. Μέσω της αύξησης της αύξησης του οξυγόνου μετά τα ιόντα οξυγόνου της πηγής ιόντων ιονισμού, θα αυξηθεί η μεμβράνη βομβαρδισμού πυκνότητας ιόντων, θα γίνει πιο πυκνή στρώση μεμβράνης, βελτιώνοντας έτσι τον δείκτη διάθλασης της μεμβράνης, όταν η ποσότητα πλήρωσης του οξυγόνου θα αυξηθεί περαιτέρω, ωστόσο, σχετικά χαμηλό σύστημα επένδυσης κενού, περίσσεια μορίων οξυγόνου και μοριακή σύγκρουση μεμβράνης TiO 2 , μείωσε τη μοριακή κινητική μεμβράνη TiO 2 , έτσι ώστε να γίνει η απόθεση της μοριακής μετανάστευσης TiO 2 λεπτής μεμβράνης ο ρυθμός μειώνεται, η πυκνότητα του στρώματος μεμβράνης, έχει μειώσει περαιτέρω τον δείκτη διάθλασης λεπτών υμενίων. Εάν το λιγότερο οξυγόνο, δηλαδή το σύστημα επιμετάλλωσης κενού είναι υψηλό, προκαλεί επίσης λόγω της μικρότερης ποσότητας οξυγόνου, δεν μπορεί 0010010 # 39; να παρέχεται Ti 2 O 3 είναι αναμένεται να αποσυντεθεί σε απώλεια εξάτμισης περιεκτικότητα σε οξυγόνο οξυγόνου, η αιτία της σύνθεσης μεμβράνης επίστρωσης έχει χαμηλό οξείδιο που περιέχει οξείδιο τιτανίου, επηρεάζει τις οπτικές ιδιότητες των λεπτών υμενίων, επομένως η επιλογή του κατάλληλου οξυγόνου ροής για TiO 2 οπτική λεπτή μεμβράνη το σύστημα επένδυσης είναι πολύ σημαντικό.

IKS-OPT 2700 οπτική μηχανή επικάλυψης κενού E-gun，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com